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武汉光迅科技股份有限公司
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具有弯曲切割形状的阵列波导光栅芯片制造技术
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文档序号:2690410
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本实用新型提供一种具有弯曲切割形状的阵列波导光栅(英文名称为:arrayed waveguide grating,简称AWG)芯片,其特征在于:它具有弯曲形状的边界轮廓线。阵列波导光栅芯片为弯曲型AWG芯片,则同样大小的硅片可能产出更多的A...
该专利属于武汉光迅科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉光迅科技股份有限公司授权不得商用。
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