【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光波导，特别涉及一种制造具有折射率光栅的光波导的方法。更具体而言，本专利技术涉及一种制备附加在平面光波导上的切趾布喇格光栅(apodized Bragg grating)的方法。2.
技术介绍
目前通信系统越来越多地采用光波导，由于其高速度、低衰减和宽带宽特性，光波导可用于同时携带数据、视频和语音信号。使用多层光波导结构构造在光纤通信系统中路由和控制光信号的集成光路。可以制造通过光路或光纤网络传输光信号的聚合光波导和其它光学器件。在光通信系统中，通过使用诸如激光器和发光二极管的光源产生的载波，以红外光频率传输信息。光波导的操作是基于这样一种事实，即当对光透明的芯介质被具有更低折射率的包层介质围绕或以其它方式相接时，沿芯介质轴引导的光在与外围包层介质的边界处高度反射，从而产生光导效应。可以由任何透光材料制造光波导。适当的波导材料的例子为聚合物材料和掺锗石英。用于形成光波导装置的一种方法包括运用标准光刻工艺。光聚合物对于光学应用而言特别重要，因为其可通过本领域中众所周知的光刻技术而图案化。光聚合物还使制造方法有可能更简单、更经济有效。使用光刻方法在沉积...
【技术保护点】
一种用于在光敏性平面线性波导中形成切趾布喇格光栅的方法，包括：在基片表面上设置光敏性平面线性波导，该波导定义纵轴；将带有图案的相位掩模设置在该波导与激光束之间；该波导通过该相位掩模暴露于激光束，其中激光束以基本恒定的 速度相对基片和相位掩模移动，或者基片和相位掩模以基本恒定的速度相对激光束移动，所述光束具有平滑改变的强度分布，并且在足以引起波导折射率改变，并在波导中附加与相位掩模图案相应的切趾布喇格光栅的条件下，以相对纵轴为大于０°且小于９０°的角度进行所述曝光。
【技术特征摘要】
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