下载切趾平面波导光栅的方法的技术资料

文档序号:2676205

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本发明提供一种用于在光敏性平面线性波导中制造切趾布喇格光栅的方法。在基片(2)的表面上设置光敏性平面线性波导(4)。带有图案的相位掩模(6)设置在波导与激光束(8)之间。波导通过相位掩模曝光于激光束,其中激光束以基本恒定的速度相对基片和相位...
该专利属于纳幕尔杜邦公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳幕尔杜邦公司授权不得商用。

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