【技术实现步骤摘要】
201610301633
【技术保护点】
一种基于金属纳米光栅的单层微偏振片阵列的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:步骤1,对高透光性的基底进行双面抛光清洁,然后分别采用电子束沉积、化学气相沉积和旋涂的方法在基底材料上依次镀上铝层、二氧化硅层和负光刻胶层;步骤2,用激光器产生两束光进行干涉,所产生的干涉条纹对光刻胶进行曝光,然后关掉干涉光源,在光刻胶上加掩模板,用传统紫外曝光光源进行紫外过度曝光,曝光之后进行显影定影,此时被掩模板遮挡区域未被干涉条纹曝光的部分被洗掉,被干涉条纹曝光的部分显影后生成条纹结构;未被掩模板遮挡的部分被曝光充分,经显影定影后留了下来;步骤3,对样品进行反应离子刻蚀、电感耦合等离子体刻蚀,将光刻胶的条纹模板转移到二氧化硅上,此时二氧化硅上就出现了条纹结构,然后再将光刻胶全部刻蚀掉,这样就生成了一个方向上的二氧化硅栅状结构;步骤4,在样品面上旋涂负光刻胶,重复步骤2和步骤3的过程来生成第二个方向的二氧化硅栅状结构,直至生成其他方向的二氧化硅栅状结构;步骤5,以所形成的二氧化硅条纹阵列结构作为硬模板,采用反应离子刻蚀、电感耦合等离子体刻蚀对样品进行刻蚀,将二氧化硅的条纹结构转移到铝上,之后刻蚀掉 ...
【技术特征摘要】
1.一种基于金属纳米光栅的单层微偏振片阵列的制备方法,其特征在于,该制备方法包括以下步骤:步骤1,对高透光性的基底进行双面抛光清洁,然后分别采用电子束沉积、化学气相沉积和旋涂的方法在基底材料上依次镀上铝层、二氧化硅层和负光刻胶层;步骤2,用激光器产生两束光进行干涉,所产生的干涉条纹对光刻胶进行曝光,然后关掉干涉光源,在光刻胶上加掩模板,用传统紫外曝光光源进行紫外过度曝光,曝光之后进行显影定影,此时被掩模板遮挡区域未被干涉条纹曝光的部分被洗掉,被干涉条纹曝光的部分显影后生成条纹结构;未被掩模板遮挡的部分被曝光充分,经显影定影后留了下来;步骤3,对样品进行反应离子刻蚀、电感耦合等离子体刻蚀,将光刻胶的条纹模板转移到二氧化硅上,此时二氧化硅上就出现了条纹结构,然后再将光刻胶全部刻蚀掉,这样就生成了一个方向上的二氧化硅栅状结构;步骤4,在样品面上旋涂负光刻胶,重复步骤2和步骤3的过程来生成第二个方向的二氧化硅栅状结构,直至生成其他方向的二氧化硅栅状结构;步骤5,以所形成的二氧化硅条纹阵列结构作为硬模板,采用反应离子刻蚀、电感耦合等离子体刻蚀对样品进行刻蚀,将二氧化硅的条纹结构转移到铝上...
【专利技术属性】
技术研发人员:张青川,张志刚,赵旸,程腾,伍小平,
申请(专利权)人:中国科学技术大学,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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