带有微弯波导的阵列波导光栅制造技术

本实用新型专利技术公开的带有微弯波导的阵列波导光栅包括输入自由传播区域和输出自由传播区域，在输入自由传播区域和输出自由传播区域间连接有波导阵列，每条阵列波导包含了六段直波导、四段弯曲波导和微弯波导；第一直波导的一端和输入自由传播区域的输出端相连，第一直波导的另一端依次经第一弯曲波导、第二直波导、第二弯曲波导、第三直波导、微弯波导、第四直波导、第三弯曲波导、第五直波导、第四弯曲波导与第六直波导的一端相连，第六直波导的另一端与输出自由传播区域的输入端相连；输入自由传播区域的输入端接输入波导，输出自由传播区域的输出端接输出波导。本实用新型专利技术将一系列微弯波导引入到阵列波导中，增大了设计自由度，使得ＡＷＧ的尺寸显著减小，提高了集成度。（*该技术在2016年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
带有微弯波导的阵列波导光栅，包括输入自由传播区域（２）和输出自由传播区域（１４），在输入自由传播区域（２）和输出自由传播区域（１４）间连接有波导阵列，其特征在于：每条阵列波导包含了六段直波导（３、５、７、９、１１、１３）、四段弯曲波导（４、６、１０、１２）和微弯波导（８）；第一直波导（３）的一端和输入自由传播区域（２）的输出端相连，第一直波导（３）的另一端依次经第一弯曲波导（４）、第二直波导（５）、第二弯曲波导（６）、第三直波导（７）、微弯波导（８）、第四直波导（９）、第三弯曲波导（１０）、第五直波导（１１）、第四弯曲波导（１２）与第六直波导（１３）的一端相连，第六直波导（１３）的另一端与输出...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：戴道锌，盛振，何赛灵，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：实用新型
国别省市：86[]