面发光激光器及其制造方法技术

本发明专利技术涉及面发光激光器及其制造方法，一种面发光激光器，具备：基板；半导体层，设置在所述基板上，包括下部反射镜层、活性层及上部反射镜层，形成台面；第一绝缘膜，将所述台面覆盖；及第二绝缘膜，将所述第一绝缘膜覆盖，所述台面在所述基板扩展的方向上具有多角形的形状，所述台面的在所述基板扩展的方向上的顶点具有倒角部。

【技术实现步骤摘要】
面发光激光器及其制造方法本申请基于2019年06月28日提出的日本专利申请特愿2019-121453号主张优先权，并将前述的日本专利申请记载的全部内容援引于此。
本专利技术涉及面发光激光器及其制造方法。
技术介绍
专利文献1公开了垂直共振型面发光激光器(VCSEL)。【在先技术文献】【专利文献】【专利文献1】国际公开第2015/033649号
技术实现思路
【专利技术要解决的课题】有时使用不使VCSEL的芯片封装化而向基板直接安装的板上芯片方式。在该情况下，提高VCSEL自身的对于湿气及灰尘等的耐性的情况至关重要。为了保护VCSEL的芯片免于遭受湿气等而利用绝缘膜(钝化膜)将芯片的表面覆盖。然而，存在水分等从绝缘膜的缺陷侵入而芯片腐蚀的情况。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够实现耐湿性的改善的面发光激光器及其制造方法。【用于解决课题的方案】本专利技术的面发光激光器具备：基板；半导体层，设置在所述基板上，包括下部反射镜层、活性层及上部反射镜层，形成台面；第一绝缘膜，将本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种面发光激光器，具备：/n基板；/n半导体层，设置在所述基板上，包括下部反射镜层、活性层及上部反射镜层，形成台面；/n第一绝缘膜，将所述台面覆盖；及/n第二绝缘膜，将所述第一绝缘膜覆盖，/n所述台面在所述基板的上表面具有多角形的形状，所述台面的在所述基板的上表面上的顶点具有倒角部。/n

【技术特征摘要】
20190628 JP 2019-1214531.一种面发光激光器，具备：
基板；
半导体层，设置在所述基板上，包括下部反射镜层、活性层及上部反射镜层，形成台面；
第一绝缘膜，将所述台面覆盖；及
第二绝缘膜，将所述第一绝缘膜覆盖，
所述台面在所述基板的上表面具有多角形的形状，所述台面的在所述基板的上表面上的顶点具有倒角部。


2.根据权利要求1所述的面发光激光器，其中，
所述倒角部的边缘具有曲线形状，
该曲线形状的曲率半径为10μm以上且20μm以下。


3.根据权利要求1或2所述的面发光激光器，其中，
所述第一绝缘膜的端部位于所述台面的端部与所述基板的端部之间，
所述第二绝缘膜将所述第一绝缘膜的端部覆盖，
所述第二绝缘膜的端部位于所述第一绝缘膜的端部与所述基板的端部之间。


4.根据权利要求1～3中任一项所述的面发光激光器，其中，
所述台面的端部与所述第一绝缘膜的端部之间的距离为2.5μm以上，
所述第一绝缘膜的端部与所述第二绝缘膜的端部之间的距离为1μm以上。


5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：辻幸洋，
申请(专利权)人：住友电气工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP