【技术实现步骤摘要】
采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台
本专利技术涉及精密定位平台结构设计
，尤其涉及一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台和原子力显微镜系统。
技术介绍
叠层并联结构是压电柔性定位平台常用的结构之一，现有技术中的普通叠层并联结构由于两层的桥式放大器都需要固定锚点，采用了中间层转接基座，但是这一层附加结构使得平台整体厚度和质量都有所增加，不利于平台的小型化和轻量化设计。因此，亟需一种更加小型化和轻量化的柔性定位平台。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的主要目的在于提供一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，以期部分地解决上述技术问题中的至少之一。为了实现上述目的，作为本专利技术的一方面，提供了一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一...
【技术保护点】
1.一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，其特征在于，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，/n所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一部位连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种采用跨层连接的叠层结构的柔性定位平台，其特征在于，包括顶部输出平台、Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座，其中，
所述Y轴工作机构、X轴工作机构和平台底座之间采用立体交叉的连接方式进行连接，使Y轴工作机构的中央固定基准孔能够直接固定连接在底层基座上，即平台底座的一部分跨过X轴工作机构，从而与Y轴工作机构的某一部位连接。
2.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述柔性定位平台采用的材料为A1-7075。
3.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述柔性定位平台的柔性结构包括Y轴工作机构和X轴工作机构，由金属线切割加工而成；结构设计时要保证Y轴工作机构和X轴工作机构中的板簧厚度以及柔性铰链缺口处厚度的尺寸不得小于0.2mm。
4.根据权利要求1所述的柔性定位平台，其特征在于，所述X轴工作机构和Y轴工作机构形状相同，放置方向互相垂直。
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【专利技术属性】
技术研发人员：姜行健，陈晓梅，石俊凯，李冠楠，刘立拓，高超，周维虎，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11
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