自动聚焦装置及其制造方法制造方法及图纸

根据一些实施例，提供了一种自动聚焦装置及其制造方法。自动聚焦装置的制造方法包括形成悬臂梁构件。悬臂梁构件具有环型形状。该方法还包括在悬臂梁构件上方形成压电构件。该方法还包括在悬臂梁构件上形成膜。膜具有第一区域和第二区域。第一区域具有平坦的表面，并且第二区域位于第一区域和悬臂梁构件的内边缘之间并且具有多个波纹结构。另外，该方法包括在膜上施加液体光学介质并用保护层密封液体光学介质。

【技术实现步骤摘要】
自动聚焦装置及其制造方法
本揭露是有关一种自动聚焦装置及其制造方法。
技术介绍
半导体集成电路(integratedcircuit,IC)产业经历了快速的增长。在IC发展的过程中，功能密度(每个晶片区域的互连元件的数量)大致已经增加了，而几何尺寸(可以使用制造制程产生的最小元件(或线))已经缩小。这种按比例缩小的制程通常通过提高生产效率和降低相关成本以提供收益。然而，这种按比例缩小还伴随着包含这些IC的装置的设计和制造中增加的复杂性，并且为了实现这些进展，需要在装置的设计中进行类似的开发。随着功能密度的进展，微机电系统(microelectromechanicalsystems,MEMS)装置的发展引导了全新的装置和结构，其尺寸远小于以前可获得的。MEMS装置是一种形成具有机械和电子特性的微结构的技术。MEMS装置可以包括用于实现机械功能的多个元件(例如，可移动元件)。另外，MEMS装置可包括各种感测器，其感测各种机械信号，例如压力、惯性力等，并将机械信号转换成它们相应的电信号。MEMS应用包括运动感测器、压力感测器、打印机喷嘴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动聚焦装置的制造方法，其特征在于，包括：/n形成一悬臂梁构件有一环型；/n形成一压电构件在该悬臂梁构件上；/n形成一膜在该悬臂梁构件上，其中该膜具有一第一区域及一第二区域，该第一区域具有一平表面，该第二区域位于该第一区域与该悬臂梁构件的一内缘之间，且该第二区域具有多个波纹结构；及/n涂布一液体光学介质于该膜上并以一保护层密封该液体光学介质。/n

【技术特征摘要】
20190628 US 62/868,571;20200416 US 16/850,8671.一种自动聚焦装置的制造方法，其特征在于，包括：
形成一悬臂梁构件有一环型；
形成一压电构件在该悬臂梁构件上；
形成一膜在该悬臂梁构件上，其中该膜具有一第一区域及一第二区域，该第一区域具有一平表面，该第二区域位于该第一区域与该悬臂梁构件的一内缘之间，且该第二区域具有多个波纹结构；及
涂布一液体光学介质于该膜上并以一保护层密封该液体光学介质。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使每一该波纹结构分别形成环型，且所述多个波纹结构与一自动聚焦装置的一光轴同心地排列。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使所述多个波纹结构间隔一距离，该距离小于每一该波纹结构的一宽度。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜遮盖该悬臂梁构件，使该膜的一第三区域围绕该第二区域，且形成一平表面，且该第三区域位于该第二区域及该悬臂梁构件该内缘之间。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使每一该波纹结构形成：
一第一侧壁相对于一第一平面倾斜，该第一区域沿该第一平面延伸；
一第二侧壁位于该第一侧壁的相反侧，且相对于该第一平面倾斜；以及
一上表面连接该第一侧壁至该第二侧壁，且平行于该第一平面。


6.一种自动聚焦装置的制造方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亭蓉，林诗玮，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71