自动聚焦装置及其制造方法制造方法及图纸

根据一些实施例，提供了一种自动聚焦装置及其制造方法。自动聚焦装置的制造方法包括形成悬臂梁构件。悬臂梁构件具有环型形状。该方法还包括在悬臂梁构件上方形成压电构件。该方法还包括在悬臂梁构件上形成膜。膜具有第一区域和第二区域。第一区域具有平坦的表面，并且第二区域位于第一区域和悬臂梁构件的内边缘之间并且具有多个波纹结构。另外，该方法包括在膜上施加液体光学介质并用保护层密封液体光学介质。

【技术实现步骤摘要】
自动聚焦装置及其制造方法
本揭露是有关一种自动聚焦装置及其制造方法。
技术介绍
半导体集成电路(integratedcircuit,IC)产业经历了快速的增长。在IC发展的过程中，功能密度(每个晶片区域的互连元件的数量)大致已经增加了，而几何尺寸(可以使用制造制程产生的最小元件(或线))已经缩小。这种按比例缩小的制程通常通过提高生产效率和降低相关成本以提供收益。然而，这种按比例缩小还伴随着包含这些IC的装置的设计和制造中增加的复杂性，并且为了实现这些进展，需要在装置的设计中进行类似的开发。随着功能密度的进展，微机电系统(microelectromechanicalsystems,MEMS)装置的发展引导了全新的装置和结构，其尺寸远小于以前可获得的。MEMS装置是一种形成具有机械和电子特性的微结构的技术。MEMS装置可以包括用于实现机械功能的多个元件(例如，可移动元件)。另外，MEMS装置可包括各种感测器，其感测各种机械信号，例如压力、惯性力等，并将机械信号转换成它们相应的电信号。MEMS应用包括运动感测器、压力感测器、打印机喷嘴等。其他MEMS应用包括惯性感测器，例如用于测量线性加速度的加速度计和用于测量角速度的陀螺仪。而且，MEMS应用可以扩展到诸如成像模块的光学应用，以及诸如RF开关等的射频(radiofrequency,RF)应用。
技术实现思路
根据本揭露一实施方式，一种自动聚焦装置的制造方法包括：形成一悬臂梁构件有一环型；形成一压电构件在该悬臂梁构件上；形成一膜在该悬臂梁构件上，其中该膜具有一第一区域及一第二区域，该第一区域具有一平表面，该第二区域位于该第一区域与该悬臂梁构件的一内缘之间，且该第二区域具有多个波纹结构；及涂布一液体光学介质于该膜上并以一保护层密封该液体光学介质。根据本揭露一实施方式，一种自动聚焦装置的制造方法包括：形成一支撑层在一基底层上，其中该支撑层具有一中心区域和环绕于该中心区域的一外围区域；形成一介电层在该支撑层上；形成一压电构件在该介电层上，相对于该支撑层的周围区域；图案化该介电层以形成一第一凸部及一第二凸部于该支撑层的该中心区域中；以一膜覆盖该介电层，其中该膜共形地成形于该第一凸部和该第二凸部上方；涂布一液体光学介质于该膜的上方，并以一保护层密封该液体光学介质；以及蚀刻该基底层、该支撑层及该介电层以暴露该膜。根据本揭露一实施方式，一种自动聚焦装置，包括：一悬臂梁构件为一环型；一压电构件位于该悬臂梁构件上方；一膜具有一第一区域和一第二区域被该悬臂梁构件围绕，其中该第一区域具有一平表面，且该第二区域位于该第一区域和该悬臂梁构件并具有多个波纹结构；一保护层位于该膜之上；以及一液体光学介质位于该膜和该保护层之间。附图说明当与附图一起阅读时自以下【实施方式】最好地理解本揭示案的态样。应注意根据工业中的标准实务，不按比例绘制各种特征。事实上，为论述的清晰性可任意地增加或减小各特征的尺寸。图1为根据本揭示案的一些实施例的影像装置的剖面图，其中用于控制焦点的膜处于平面状态；图2为根据本揭示案的一些实施例的影像装置的剖面图，其中用于控制焦点的膜处于弯曲状态；图3为根据本揭示案的一些实施例的膜的立体剖面图；图4为根据本揭示案的一些实施例的膜的剖面图；图5为根据本揭示案的一些实施例的悬臂梁和膜的仰视图；图6为根据本揭示案的一些实施例的制造自动聚焦装置的方法的流程图；图7为根据本揭示案的一些实施例的制造自动聚焦装置的方法的剖面图，其中压电构件位于支撑层上；图8为根据本揭示案的一些实施例的制造自动聚焦装置的方法的一个阶段的剖面图，其中将膜、液体光学介质和保护层置于支撑层上；图9为根据本揭示案的一些实施例的制造自动聚焦装置的方法的一个阶段的剖面图，其中蚀刻支撑层和基底层以暴露膜。【符号说明】1:成像模块2:电路板3:影像感测器10:自动聚焦装置11:足部构件12:悬臂梁构件、悬臂梁层13:压电构件14:膜15:框架16:液体光学介质17:保护层31:第一凸部32:第二凸部33:第三凸部111:外边缘112:内边缘116:基底层117:第一介电层120:孔121:外边缘122:内边缘123:外部126:支撑层127:第二介电层131:外边缘136:第一金属电极层137:压电材料层138:第二金属电极层141:中心部分142:外围部分143:边缘部分144:凸缘160:空间181:迹线182:迹线185:钝化层21:波纹结构22:波纹结构23:波纹结构213:上壁211:第一侧壁212:第二侧壁311:第一侧壁312:第二侧壁313:上表面O:光轴L:光W0、W1、W2、W3、W4、W5、W6、W7、W8:宽度H1:高度R1:第一区域R2:第二区域R3:第三区域R4:中心区域R5:外围区域WR1、WR2、WR3:宽度RD:径向S40:方法S41、S42、S43、S44、S45:操作具体实施方式以下揭示案提供用于实施所提供的标的的不同特征的许多不同的实施例或实例。下文描述部件及布置的特定实例以简化本揭示案。当然，此等特定实例仅为实例且不意欲为限制性的。举例而言，在以下描述中第一凸部形成于第二凸部上方或形成于第二凸部上可包括其中第一凸部及第二凸部直接接触而形成的实施例，且亦可包括其中额外特征可形成于第一凸部与第二凸部之间使得第一凸部及第二凸部不直接接触的实施例。另外，本揭示案可在各种实例中重复元件数字及/或字母。此重复是为简单性及清晰性的目的且本身不规定所论述的各种实施例及/或配置之间的关系。另外，本文中为便于描述可使用诸如“之下”、“下方”、“下”、“上方”、“上”及其类似用语的空间上相对的术语以描述如图形中所图示的一元件或特征与另一(其他)元件或特征的关系。空间上相对的术语意欲涵盖除图形中所描绘的定向之外使用中或操作中的元件的不同定向。设备可按另一方向经定向(经转动90度或处于其他定向)且可因此同样地解释本文中所使用的空间上相对的描述符。微机电系统(MEMS)装置的一种应用是成像模块的自动聚焦装置。在这自动聚焦装置中，膜位于成像模块的一光学轴之上。透过改变膜的曲率，调节入射到成像模块中的光的焦点，以正确地产生聚焦的图像。然而，由于应力分布不均，会在膜上产生皱折，图像质量因此降低在图像的皱折的区域如周边边缘等。为了解决上述问题，本揭示案的一个实施例提供了一种具有自动聚焦装置的成像模块，其中一改性膜具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动聚焦装置的制造方法，其特征在于，包括：/n形成一悬臂梁构件有一环型；/n形成一压电构件在该悬臂梁构件上；/n形成一膜在该悬臂梁构件上，其中该膜具有一第一区域及一第二区域，该第一区域具有一平表面，该第二区域位于该第一区域与该悬臂梁构件的一内缘之间，且该第二区域具有多个波纹结构；及/n涂布一液体光学介质于该膜上并以一保护层密封该液体光学介质。/n

【技术特征摘要】
20190628 US 62/868,571;20200416 US 16/850,8671.一种自动聚焦装置的制造方法，其特征在于，包括：
形成一悬臂梁构件有一环型；
形成一压电构件在该悬臂梁构件上；
形成一膜在该悬臂梁构件上，其中该膜具有一第一区域及一第二区域，该第一区域具有一平表面，该第二区域位于该第一区域与该悬臂梁构件的一内缘之间，且该第二区域具有多个波纹结构；及
涂布一液体光学介质于该膜上并以一保护层密封该液体光学介质。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使每一该波纹结构分别形成环型，且所述多个波纹结构与一自动聚焦装置的一光轴同心地排列。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使所述多个波纹结构间隔一距离，该距离小于每一该波纹结构的一宽度。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜遮盖该悬臂梁构件，使该膜的一第三区域围绕该第二区域，且形成一平表面，且该第三区域位于该第二区域及该悬臂梁构件该内缘之间。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，其中该膜形成使每一该波纹结构形成：
一第一侧壁相对于一第一平面倾斜，该第一区域沿该第一平面延伸；
一第二侧壁位于该第一侧壁的相反侧，且相对于该第一平面倾斜；以及
一上表面连接该第一侧壁至该第二侧壁，且平行于该第一平面。


6.一种自动聚焦装置的制造方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈亭蓉，林诗玮，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71