一种热电位移动促动器结构制造技术

本发明专利技术公开了一种热电位移动促动器结构，包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端部接到第二横梁的端部,其连接处形成一个V形,其顶点的内角度约90度到约180度；第一横梁的另一端接基板,并形成第一电极，第二横梁的另一端接基板,并形成第二电极；位移装置接到第一和第二横梁V形顶点的接处。本发明专利技术能够利用少量电能产生大位移的热电MEMS结构，解决成本高、生产困难和能耗大的问题，增大其应用场合。

【技术实现步骤摘要】
一种热电位移动促动器结构
本专利技术涉及一种微机械系统领域，具体涉及一种热电位移动促动器结构。
技术介绍
MEMS驱动技术可分为静电驱动、热电驱动和电磁驱动。静电驱动是MEMS结构中常用的一种，具有功耗低的优点。然而，静电驱动除了粘滞问题外，还有一个缺点，即需要进行热密封，以防止湿气引起的高电场短路，从而增加成本。电磁MEMS是由线圈或磁铁组合而成，与传统的MEMS工艺不兼容，生产比较困难。另一方面，热电MEMS是一种相对简单的器件结构，可以通过具有公差松的低成本半导体批量制造工艺进行批量生产。然而，传统的热电MEMS结构耗能大，限制了其应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是专利技术一种能够利用少量电能产生大位移的热电MEMS结构，解决成本高、生产困难和能耗大的问题，增大其应用场合。本专利技术热电位移动促动器结构是通过以下技术方案来实现的：1.一种热电位移动促动器结构，其特征在于：包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热电位移动促动器结构，其特征在于：包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端部接到第二横梁的端部,其连接处形成一个V形,其顶点的内角度约90度到约180度；第一横梁的另一端接基板,并形成第一电极，第二横梁的另一端接基板,并形成第二电极；位移装置接到第一和第二横梁V形顶点的接处。/n

【技术特征摘要】
1.一种热电位移动促动器结构，其特征在于：包括由导电材料制成的第一横梁，在两个端部附近至少变窄5%，以及由导电材料制成的第二横梁，在靠近两端部分具有至少变窄5%；第一横梁的端部接到第二横梁的端部,其连接处形成一个V形,其顶点的内角度约90度到约180度；第一横梁的另一端接基板,并形成第一电极，第二横梁的另一端接基板,并形成第二电极；位移装置接到第一和第二横梁V形顶点的接处。


2.根据权利要求1所述的热电位移动促动器结构，其特征在于：所述位移促动器沿着基本垂直于横梁的方向，响应于通过第一和第二电极施加到位移器的电压而在中心处产生位移。


3.根据权利要求1所述的热...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖盛哲，
申请(专利权)人：广西安捷讯电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广西;45