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根据一些实施例，提供了一种自动聚焦装置及其制造方法。自动聚焦装置的制造方法包括形成悬臂梁构件。悬臂梁构件具有环型形状。该方法还包括在悬臂梁构件上方形成压电构件。该方法还包括在悬臂梁构件上形成膜。膜具有第一区域和第二区域。第一区域具有平坦的表...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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