倾斜沉积镀膜装置制造方法及图纸

一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置，包括安装架、球冠形夹具和楔形块，还有套筒、步进电机、步进电机驱动器和计算机，该安装架将该装置安装在镀膜机的真空室内；该楔形块根据倾斜角度进行设计；该可拆卸套筒用于连接步进电机和球冠形夹具；该步进电机用于控制球冠形夹具的匀速转动；步进电机通过电缆与驱动器相连，驱动器通过电缆与计算机相连，计算机通过已有程序控制夹具的转速。本实用新型专利技术主动引入基片倾角，一次可以镀制多片不同倾角的雕塑薄膜，具有结构简单，紧凑，容易操作的特点。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜，特别是一种用于电子枪蒸发镀膜机镀制雕塑 薄膜的倾斜沉积镀膜装置。
技术介绍
箱式电子枪蒸发镀膜机是常用的光学镀膜设备。该设备主要由三大 部分组成真空系统、热蒸发系统、膜层厚度控制系统。镀膜过程是在 真空室内进行的。图1是该箱式电子枪蒸发镀膜机的真空室的结构图。真空室内包括电子束蒸发源l、挡板2、夹具安装架3、烘烤电阻丝4、 监控片旋转盘5。其中电子束蒸发源l由电子枪和坩埚组成，电子枪发 出的电子流被加速打到坩埚里，对坩埚里的膜料进行加热，从而蒸发出 膜料粒子。夹具安装架3可以安装球面拱形夹具，球面拱形夹具可以放 置需要镀膜的基片。在镀膜前，要让真空系统把真空室抽到一定的真空度，利用烘烤电阻丝4对真空室及基片进行加热；旋转夹具安装架3;把监控片旋转盘5调到适当的位置。镀膜过程中，打开电子枪蒸发源l对膜料加热以蒸发出膜料粒子。打开挡板2，膜料粒子沉积到基片上；当沉积了一定厚度 的膜层后，关闭挡板2，关闭电子束蒸发源l。这就镀完了一层膜。把坩埚调整到另一位置，然后重复上述的步骤，以镀制另外一种材料的膜层。 镀膜完毕后，待温度冷却后取出。这种常规的镀膜方法和设备镀制出膜 层本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置，其特征在于包括安装架（６）、球冠形夹具（８）和楔形块（９）：所述的安装架（６）的一端具有一对通孔（１５、１６）与电子枪蒸发镀膜机的真空室内的夹具安装架（３）上的通孔相对应，用于与夹具安装架（３）固定相连，该安装架（６）沿长度方向设有中间线槽（１９）和两对侧线槽（１８、２０、１７、２１）；所述的球冠形夹具（８）之顶有一中心通孔（２９），在该中心通孔（２９）的四周中心对称地设有四个通孔（２８），该球冠形夹具（８）上还辐射状地分布有多个线槽（２７）；所述的楔形块（９）是两端面为直角三角形的三棱柱体结构，其侧面由两直角面（３０、３１）和一斜面（...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：肖秀娣，董国平，齐红基，贺洪波，邵建达，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[]