温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种用于电子枪蒸发镀膜机内镀制雕塑薄膜的倾斜沉积镀膜装置，包括安装架、球冠形夹具和楔形块，还有套筒、步进电机、步进电机驱动器和计算机，该安装架将该装置安装在镀膜机的真空室内；该楔形块根据倾斜角度进行设计；该可拆卸套筒用于连接步进电机和球冠形...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。