一种硅片插片入篮机构制造技术

技术编号:26876052 阅读:23 留言:0更新日期:2020-12-29 13:11
本实用新型专利技术提供了一种硅片插片入篮机构,用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒,包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件;所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上,所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接,所述片篮盒内设有多个置片凹槽;所述片篮盒一侧开有硅片入口,远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。本实用新型专利技术所述的片篮盒固定在夹紧组件上,夹紧组件在垂直升降模块上移动,垂直升降模块实现了片篮盒精准移动,所述缓冲组件安装在片篮盒上,减少硅片入篮时的冲击力,减少硅片损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片插片入篮机构
本技术属于光伏设备领域,尤其是涉及一种硅片插片入篮机构。
技术介绍
随着半导体科学技术的飞速的发展,硅片的广泛应用涉及到现代社会的各行各业。硅片的生产加工量不断攀升,随之形成大规模流水生产。通常待加工硅片放置于周转装置中,通过生产线由机械手操作,进行每道工序的流水加工作业。现有的周转装置主要是采用框式结构的硅片盒来放置硅片,然而在硅片插入时,硅片撞击到硅片盒容易造成损坏,本专利技术解决以上技术问题。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种硅片插片入篮机构,以解决在插片过程中,硅片撞击到挡片杆损伤的问题。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种硅片插片入篮机构,用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒,包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件;所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上,所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接,所述片篮盒内设有多个置片凹槽;所述片篮盒一侧开有硅片入口,远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件。进一步的,所述夹紧组件包括定位底板、第一定位侧板、第二定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片插片入篮机构,用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒,其特征在于:包括垂直升降模块(1)、夹紧组件(2)、片篮盒(3)、缓冲组件(4);/n所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上,所述片篮盒(3)与夹紧组件(2)为可拆卸连接,所述片篮盒(3)内设有多个置片凹槽;/n所述片篮盒(3)一侧开有硅片入口,远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件(4)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片插片入篮机构,用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒,其特征在于:包括垂直升降模块(1)、夹紧组件(2)、片篮盒(3)、缓冲组件(4);
所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上,所述片篮盒(3)与夹紧组件(2)为可拆卸连接,所述片篮盒(3)内设有多个置片凹槽;
所述片篮盒(3)一侧开有硅片入口,远离硅片入口的一侧安装有缓冲组件(4)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片插片入篮机构,其特征在于:所述夹紧组件(2)包括定位底板(25)、第一定位侧板(26)、第二定位侧板、顶紧气缸,所述定位底板(25)向下延伸有挡板(251),所述顶紧气缸安装在第二定位侧板上,所述第一定位侧板(26)、第二定位侧板分别安装在定位底板(25)的第一U型槽两侧,所述片篮盒(3)安装在第一定位侧板(26)、第二定位侧板中间,所述顶紧气缸将片篮盒(3)进行顶紧。


3.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构,其特征在于:所述定位底板(25)上设有第一U型槽,所述挡板(251)上设有第二U型槽,所述第一U型槽与第二U型槽相通,形成L槽,所述硅片传输组件一端位于L槽内,所述片篮盒(3)上设有与第一U型槽相对应的第三U型槽,所述第三U型槽大小与第一U型槽相同,所述硅片传输组件位于L槽、第三U型槽内。


4.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构,其特征在于:所述垂直升降模块(1)包括滑块(11)、滑轨(12),所述滑块(11)一端固定在第一定位侧板(26)的外壁上,所述滑块(11)另一端安装在滑轨(12)上。


5.根据权利要求2所述的一种硅片插片入篮机构,其特征在于:所述第二定位侧板包括支撑杆(23)、安装板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:靳立辉杨骅尹擎耿明强赵晓光杜晨鹏
申请(专利权)人:天津环博科技有限责任公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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