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本实用新型提供了一种硅片插片入篮机构，用于硅片传输组件传输的硅片插入片篮盒，包括垂直升降模块、夹紧组件、片篮盒、缓冲组件；所述夹紧组件安装在垂直升降模块的滑块上，所述片篮盒与夹紧组件为可拆卸连接，所述片篮盒内设有多个置片凹槽；所述片篮盒一侧...
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