上部电极气孔修复工艺制造技术

本发明专利技术涉及上部电极技术领域，提供了一种上部电极气孔修复工艺，包括以下步骤：a)将第一基板贴合在上部电极的表面上，并使得第一基板上的多个通孔与上部电极上的多个喷气孔一一对应，每个通孔的孔径都大于对应的喷气孔的孔径；b)第一基板与上部电极的表面通过耐热双面胶粘接；c)移动等离子溶射设备，使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐；d)开启等离子溶射设备，将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上，完成该喷气孔的溶射作业，形成新的涂层保护膜；e)继续移动等离子溶射设备，对其它喷气孔进行溶射作业。本发明专利技术提供的一种上部电极气孔修复工艺，能够修复损坏的喷气孔。

【技术实现步骤摘要】
上部电极气孔修复工艺
本专利技术涉及上部电极
，具体涉及一种上部电极气孔修复工艺。
技术介绍
上部电极主要用于玻璃面板生产工序中，使玻璃面板表面形成小回路时的干刻工程的部件。其上沿其厚度方向具有上千个喷气孔，在干刻过程中，会与等离子电极相结合，使等离子气体在机舱内喷射均匀，是决定LCD干刻工程生产效率的消耗性核心部件。为了起到保护作用，上部电极对喷气孔及表面进行了氧化绝缘处理，使其表面形成一层阳极氧化层，以对上部电极起到保护作用。但是在通电使用较长一段时间后，阳极氧化层容易发生裂痕并脱落，进而导致电弧击穿现象的发生，电弧击穿现象大多发生在喷气孔周围，这样就会导致喷气孔损坏，使得等离子气体在机舱内无法喷射均匀。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷，本专利技术的目的是提供一种上部电极气孔修复工艺，使其能够修复损坏的喷气孔。为了实现上述目的，本专利技术通过如下的技术方案来实现：一种上部电极气孔修复工艺，其特征在于：包括以下步骤：a)将第一基板贴合在上部电极的表面上，并使得第一基板上的多个通孔与所述上部电极上的多个喷气孔一一对应，每个所述通孔的孔径都大于对应的所述喷气孔的孔径；b)所述第一基板与所述上部电极的表面通过耐热双面胶粘接；c)移动等离子溶射设备，使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐；d)开启等离子溶射设备，将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上，完成对该喷气孔的溶射作业，形成新的涂层保护膜；e)继续移动等离子溶射设备，对其它喷气孔进行溶射作业。进一步地，所述步骤d)中的溶射作业进行前，先将所述第一基板和所述上部电极竖直放置。进一步地，所述步骤d)中的涂料为三氧化二钇。进一步地，所述第一基板由不锈钢材料制成。进一步地，所述通孔的孔径为对应的所述喷气孔的孔径的二倍。本专利技术的有益效果：本专利技术提供的一种上部电极气孔修复工艺，将三氧化二钇通过等离子溶射设备融化后吹附在喷气孔的内壁和周围表面上，形成皮膜，不仅能修复损坏的喷气孔，而且还能提高喷气孔的内壁和周围表面的耐磨性、耐热性和耐腐蚀性。附图说明图1为上部电极气孔修复装置的结构示意图；图2为图1中A部的放大结构示意图；图3为图1的俯视结构示意图；图4为锁定块的结构示意图；图5为上部电极气孔修复工艺的流程示意图。附图标记：10-锁定机构、11-第一立柱、111-插销、12-锁定组件、13-锁定块、131-插销孔、132-容纳槽、14-底板、15-螺钉、16-插销孔、20-喷涂机构、21-第一基板、211-通孔、22-第二立柱、23-第一气缸、24-第一导向杆、25-滑座、26-第一丝杆、27-第一电机、28-第一侧板、29-第一脚轮、30-堵塞机构、31-第二基板、311-堵塞柱、32-第三立柱、33-第二气缸、34-第二侧板、35-第二脚轮、40-喷涂组件、41-第二导向杆、42-滑块、43-第二丝杆、44-第二电机、45-等离子溶射设备、50-上部电极、51-喷气孔。具体实施方式为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“纵”、“横”、“水平”、“顶”、“底”、“上”、“下”、“内”和“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。如图1-4所示，本专利技术提供一种上部电极气孔修复装置，包括锁定机构10、喷涂机构20和堵塞机构30。锁定机构10包括两个第一立柱11和两个锁定组件12。两个第一立柱11均固定安装在地面上，两个第一立柱11的上端均设置有插销111。两个锁定组件12分别设置在两个第一立柱11上、且均于两个立柱之间，两个锁定组件12分别用于对上部电极50的两侧进行位支撑和锁定。锁定组件12包括锁定块13、底板14和螺钉15。锁定块13与对应的第一立柱11转动连接，锁定块13的上下两端均开有与对应的第一立柱11上的插销111相适应的插销孔16，锁定块13的远离第一立柱11的表面上开有与上部电极50的侧面相适应的容纳槽131。底板14固定安装在锁定块13的第一端、用于限制容纳槽131内的上部电极50从锁定块13的第一端脱离。螺钉15安装在锁定块13的第二端、用于限制容纳槽131内的上部电极50从锁定块13的第二端脱离。喷涂机构20设置在锁定机构10的第一侧。喷涂机构20包括第一基板21、第二立柱22、第一气缸23、第一导向杆24、滑座25、第一丝杆26、第一电机27和喷涂组件40。第二导向杆41、第二丝杆43和等离子溶射设备45。第一基板21沿纵向设置，第一基板21上开有多个通孔211，多个通孔211与上部电极50上的多个喷气孔51一一对应，第一基板21的两侧均安装有第一侧板28，第一侧板28与第一基板21垂直，每个第一侧板28的底部均安装有第一脚轮29。第二立柱22固定安装在地面上，第一气缸23沿横向设置，第一气缸23的第一端与第二立柱22连接，第一气缸23的第二端与第一侧板28连接，第一气缸23伸缩时能够控制第一基板21靠近或远离上部电极50。第一导向杆24沿横向设置、且两端分别与两个第一侧板28固定连接。滑座25设置在第一导向杆24上、且与第一导向杆24滑动连接。第一丝杆26的第一端与一个第一侧板28转动连接，第一丝杆26的第二端沿横向穿过滑座25后与另一个第一侧板28转动连接，第一丝杆26与滑座25螺纹连接。第一电机27安装在其中一个第一侧板28上、用于驱动第一丝杆26转动。喷涂组件40包括第二导向杆41、滑块42、第二丝杆43、第二电机44和等离子溶射设备45。第二导向杆41沿纵向设置在滑座25上、且两端均与滑座25固定连接。滑块42设置在第二导向杆41上、且与第二导向杆41滑动连接。第二丝杆43的第一端与滑座25的顶部转动连接，第一丝杆26的第二端沿横向穿过滑块42后与滑座25的底部转动连接，第一丝杆26与滑块42螺纹连接。第二电机44安装在滑座25的顶部、用于驱动第二丝杆43转动。等离子溶射设备45安装在滑座25上、其喷涂口靠近第一基板21。喷涂机构20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种上部电极气孔修复工艺，其特征在于：包括以下步骤：/na)将第一基板贴合在上部电极的表面上，并使得第一基板上的多个通孔与所述上部电极上的多个喷气孔一一对应，每个所述通孔的孔径都大于对应的所述喷气孔的孔径；/nb)所述第一基板与所述上部电极的表面通过耐热双面胶粘接；/nc)移动等离子溶射设备，使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐；/nd)开启等离子溶射设备，将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上，完成该喷气孔的溶射作业，形成新的涂层保护膜；/ne)继续移动等离子溶射设备，对其它喷气孔进行溶射作业。/n

【技术特征摘要】
1.一种上部电极气孔修复工艺，其特征在于：包括以下步骤：
a)将第一基板贴合在上部电极的表面上，并使得第一基板上的多个通孔与所述上部电极上的多个喷气孔一一对应，每个所述通孔的孔径都大于对应的所述喷气孔的孔径；
b)所述第一基板与所述上部电极的表面通过耐热双面胶粘接；
c)移动等离子溶射设备，使其喷涂口与第一基板上的某一个通孔对齐；
d)开启等离子溶射设备，将涂料喷洒在与该通孔对应的喷气孔的内壁及周围的上部电极表面上，完成该喷气孔的溶射作业，形成新的涂层保护膜；
e)继续移动等离子溶射设备，对其它...

【专利技术属性】
技术研发人员：李东一，
申请(专利权)人：重庆臻宝实业有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆;50