１：１折反式非球面光学系统技术方案

一种１∶１折反式非球面光学系统，主要用于精细图形的照相复制。它包括两个棱镜，一个双胶合透镜，和一个非球面反射镜。它具有数值孔径大，分辨率高，在波长短于３６５ｎｍ的紫外区，也具有较大工作视场。（*该技术在2009年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于具有或无折射元件的反射面光学系统，特别是提供了一种放大倍率为1∶1的折反式非球面光学系统，它主要用于精细图形的照相复制，例如用于投影式光刻机上。美国赫希尔(R.S.Hershel)在“Optics in model 900 Projection Stepper”，(发表在SPIE，Vol，174，1979，P.54)使用的维纳-戴森(Wynne-Dyson)光学系统。如附图说明图1所示，由一个球面反射镜6，透镜4，透镜5，二个折光棱镜3组成，在这种光学系统中，所有球面都几乎同心，透镜4，透镜5是胶合的，当透镜5的折射率高于透镜4，并且折射率差值适当时，修改透镜曲率半径可以同时校正整个系统的球差和场曲。在可见光光谱区，有许多光学玻璃可以使用，这个条件可以满足，系统的最大数值孔径可以达到0.3，视场直径为几厘米，但在波长短于365nm的紫外光谱区，可以使用的材料目前仅有熔石英，CaF2晶体，LiF2晶体，BaF2晶体，这个条件无法满足，场曲无法校正，因此视场要比可见光谱区小(小于10×10mm2)。这种系统数值孔径无法增大，限制了分辨率的提高，在紫外光谱区，因材料限制本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于精细图形照相复制的１：１折反式非球面光学系统，包括一个非球面反射镜６，由两个棱镜３，透镜４、透镜５相胶合而成的折射镜组，其特征是所说的反射镜６是轴对称非球面反射镜。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王之江，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]