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中国科学院上海光学精密机械研究所
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1:1折反式非球面光学系统技术方案
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下载1:1折反式非球面光学系统的技术资料
文档序号:2684359
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一种1∶1折反式非球面光学系统,主要用于精细图形的照相复制。它包括两个棱镜,一个双胶合透镜,和一个非球面反射镜。它具有数值孔径大,分辨率高,在波长短于365nm的紫外区,也具有较大工作视场。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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