检测光束准直的剪切干涉仪制造技术

技术编号:2684283 阅读:214 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术属于光学仪器系统领域的一种检测光束准直的剪切干涉仪。用于光学与激光工程,光学与激光实验中光束准直的检测。由入射光阑屏、带有楔角的可以旋转360°的剪切干涉平板和图形观测屏三部分组成。这三部分既可以设计成一体式的,也可以是分离式的。本发明专利技术的干涉仪具有检测灵敏度高,可检测较大光束口径,并能够直接给出定量的结果等优点。(*该技术在2010年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学仪器系统领域,主要用于光学与激光工程、光学与激光实验中光束准直的检测。光束准直检测中现有的方法有(1)用平行平板作为剪切干涉仪观测零场干涉图形的存在与否作为评判光束准直的依据(Appl.Opt.3.1964,531-534);日本公开专利JP52-57839(1977年5月12日)中也提到这种剪切方法。(2)用多个角锥棱镜列阵的干涉法(Appl.Opt.9.1970,2590-2593)。(3)用拼接双楔板剪切干涉仪或拼接双光栅干涉仪(Optics and Laser Technology,20.1.1988,139-144)。(4)美国专利4504147用立方棱镜贴置角锥棱镜和直角棱镜组成剪切干涉仪。(5)美国专利4575248是用两块后向反射镜及分束镜构成剪切干涉仪。上述几种方法均存在一些缺点1.方法(1)存在灵敏度不高,平行平板的平行度要求严格,难以达到要求;2.方法(2)虽然精度有所提高,但造价昂贵,调校繁琐,实用性差,难于推广;3.方法(3)虽然灵敏度较方法(1)提高了一倍,但在技术上难以保证拼接的两块板或两块光栅正确的相反角度的位置,而且随着本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种属于光学仪器系统领域的检测光束准直的剪切干射仪,由入射光阑屏、剪切干涉板和干涉图形观测屏所组成,其特征在于剪切干涉板是带有楔角B的楔形平板(以下简称楔板),它装入可以旋转360°的框架上,被检测系统的离焦量△f符合公式:△f=1/S nBf↑[2](a↓[+]-a↓[-])-------(1)(1)式中,f——被检测系统的焦距,n——楔板玻璃材料的折射率,B——楔板的楔角,a↓[+],a↓[-]分别为楔板在0°位置及在180°位置时相应的干涉条纹与X 轴的倾角,S——为光束剪切量,符合公式:***(2)式中,i——为入射光束在楔板上的入射角,h—...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:徐德衍
申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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