衍射光栅及其制造方法技术

本发明专利技术涉及表面上形成了凹凸状周期栅格结构的衍射光栅，其凹凸状周期栅格是通过简单的工艺精密制得的。衍射光栅６具备玻璃基板１，并在其光出射面１ｂ上通过ＰＥＴ涂料形成了聚二乙炔衍生物薄膜３。然后，通过紫外线穿透部分为微细周期栅格图纹的遮光膜４，对薄膜３的表面进行紫外线５的照射，使其发生选择性收缩，形成凹凸状周期栅格（３ｂ、３ｃ）。本发明专利技术能够简单地，且精度良好地制得具备微细凹凸状周期栅格图纹的衍射光栅。（*该技术在2018年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及各种光学仪器，特别是光信号拾取装置所用的。更具体涉及由聚二乙炔薄膜制成的衍射光栅。作为用于光盘装置等各种光学仪器的衍射光栅，现在正被广泛应用的是一种在其表面周期性地形成凹凸部分，因而形成了构成凹凸状周期栅格图纹，使通过凸出部分和凹入部分的光产生相位差的光学元件。作为应用于光拾取装置的偏振光性衍射光栅，日本专利公开公报平7-325217号提出了由聚二乙炔定向膜制得的双折射材料层按照周期性栅格状形成于玻璃基板上，该材料层仅对寻常光及异常光中的一种具有衍射光栅的功能，而使另一种能够照样透过。该制造方法是半导体的制造过程中所采用的公知的方法，具体来讲，为了在形成的聚二乙炔定向膜上形成凹凸状周期栅格，在其上涂布了保护膜，露光、进行显象处理后，再进行防腐处理直到玻璃基板的凹部的深度达到规定值，然后，除去保护膜，就制得凹凸状周期栅格。但是，这种在聚二乙炔定向膜上形成凹凸状周期栅格的制作方法需要几个步骤，很难进行适当的工艺管理，而且，还存在制作成本高的问题。另外，也有使用对应于凹凸状周期栅格图纹而形成的金属图纹模具，通过注塑成型形成衍射光栅的制造方法。在这种情况下，制造具备精密周本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种衍射光栅，其特征在于，具备光学各向同性基板、形成于该光学各向同性基板的光入射面及光出射面中的至少一面的由聚二乙炔衍生物构成的薄膜、以及通过选择性地对该薄膜表面进行紫外线照射而在该薄膜表面形成的凹凸状周期栅格。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：林贤一，小林一雄，
申请(专利权)人：株式会社三协精机制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]