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衍射光栅及其制造方法技术
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文档序号:2682892
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本发明涉及表面上形成了凹凸状周期栅格结构的衍射光栅,其凹凸状周期栅格是通过简单的工艺精密制得的。衍射光栅6具备玻璃基板1,并在其光出射面1b上通过PET涂料形成了聚二乙炔衍生物薄膜3。然后,通过紫外线穿透部分为微细周期栅格图纹的遮光膜4,对...
该专利属于株式会社三协精机制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三协精机制作所授权不得商用。
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