【技术实现步骤摘要】
样品承载装置
本技术涉及样品检测
，尤其涉及一种样品承载装置。
技术介绍
传统的样品承载台的表面非常平整光滑，没有可以防止在手动放样过程中、样品滑落样品台的保护装置，极容易造成测试样品的损坏及仪器的故障；且不能对样品进行定位，当需要对样品进行二次测试的时候，不能在原来测试结果上进行，需要重新测试，极大的浪费了测试时间和资源。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术提供一种样品承载装置，解决样品易从样品承载台上滑落，且不能进行定位的问题。为了达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标
【技术保护点】
1.一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，其特征在于，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；/n所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标记的直径的刻度。/n
【技术特征摘要】
1.一种样品承载装置，用于X射线形貌仪中测试晶圆的X射线形貌像，所述样品承载装置包括基座和设置于所述基座上的样品承载台，其特征在于，所述样品承载装置还包括设置于所述样品承载台的边缘、或围设于所述样品承载台的四周的围挡结构，以及用于对放置于所述样品承载台上的样品进行定位的定位结构；
所述定位结构包括多个同心圆标记，多个所述同心圆标记设置于所述样品承载台的承载面上、并以所述承载面的中心点为圆心，所述承载面上设置有表示多个所述同心圆标记的直径的刻度。
2.根据权利要求1所述的样品承载装置，其特征在于，所述定位结构还包括：
设置于所述样品承载台上的定位凹槽，所述定位凹槽为条形结构、由所述承载面的边缘向内延伸、并贯穿多个所述同心圆标记；
可移动的设置于所述定位凹槽上的定位卡扣，用于与放置于样品承载台上的样品接触、以对样品进行定位；
位置信息获取单元，用于获取并显示所述定位卡扣的位置信息。
3.根据权利要求2所述的样品承载装置，其特征在于，所述位置信息获取单元包括：
第一部分，用于以所述承载面的中心点为原点、在所述承载面建立坐标系；
第二部分，用于在所述定位卡扣定位样品后、获取所述定位卡扣...
【专利技术属性】
技术研发人员：李阳，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61
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