一种EBSD测试样品台及其应用制造技术

本发明专利技术涉及一种EBSD测试样品台，属于试验器材领域，包括夹具体和底座，夹具体通过其底端设置在底座上，其特征在于，夹具体为直角梯形的四棱柱，所述夹具体的四个侧端面沿其周向依次为第一端面、第二端面、第三端面、第四端面，第一端面作为夹具体的工作面，其与夹具体的底端呈70°夹角，夹具体上开有至少一开槽，开槽分别与第一端面、第二端面、第三端面相连通；与夹具体相配合的还设置有挡板，挡板设置于所述开槽中并与夹具体可分离式连接，且挡板的一侧端面作为工作端；本发明专利技术能够适用于薄型样品如电池极片、无机晶体薄膜等的EBSD测试，尤其适用于日立SU8000系列冷场扫描电镜的EBSD测试。

【技术实现步骤摘要】
一种EBSD测试样品台及其应用
本专利技术涉及试验器材领域，具体涉及一种EBSD测试样品台及其应用。
技术介绍
上世纪九十年代以来，晶体微区取向及晶体结构的分析技术取得了较大发展，电子背散射衍射(ElectronBackscatteredDiffraction简称EBSD)在材料微观组织结构及微织构表征中得到广泛应用。EBSD的主要特点除了保留扫描电子显微镜的常规特点外，该技术还基于扫描电镜中电子束在倾斜样品表面激发出并形成的衍射菊池带的分析，进而确定晶体结构、取向及相关信息的方法，在晶体材料的组织表征和分析中有着重要的作用。EBSD主要应用于钢铁和无机晶体材料的物相、组织鉴定、取向分析、微织构分析、晶界分析和晶粒度测量等。EBSD测试的样品台，为了得到较强的信号，相对于入射电子束，样品需要倾斜60-70°，最简单的做法是做一个倾斜70°的小台，把样品固定到小台上，然后再粘接到电镜样品台底座上，即使如此，在高倍下(如5万倍)和大电子束流，样品成像还是会受到上述不稳定因素的影响。这很难保证定位的精确性，也很难保证粘接的牢固程度。该方法的缺本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种EBSD测试样品台，包括夹具体(1)和底座(100)，夹具体(1)通过其底端设置在底座(100)上，其特征在于，所述夹具体(1)为直角梯形的四棱柱，所述夹具体(1)的四个侧端面沿其周向依次为第一端面(11)、第二端面(12)、第三端面(13)、第四端面(14)，所述第一端面(11)作为夹具体(1)的工作面，其与夹具体(1)的底端呈70°夹角，所述夹具体(1)上开有至少一开槽(2)，所述开槽(2)分别与第一端面(11)、第二端面(12)、第三端面(13)相连通；与所述夹具体(1)相配合的还设置有挡板(3)，所述挡板(3)设置于所述开槽(2)中并与夹具体(1)可分离式连接，且挡板(3)的一...

【技术特征摘要】
1.一种EBSD测试样品台，包括夹具体(1)和底座(100)，夹具体(1)通过其底端设置在底座(100)上，其特征在于，所述夹具体(1)为直角梯形的四棱柱，所述夹具体(1)的四个侧端面沿其周向依次为第一端面(11)、第二端面(12)、第三端面(13)、第四端面(14)，所述第一端面(11)作为夹具体(1)的工作面，其与夹具体(1)的底端呈70°夹角，所述夹具体(1)上开有至少一开槽(2)，所述开槽(2)分别与第一端面(11)、第二端面(12)、第三端面(13)相连通；与所述夹具体(1)相配合的还设置有挡板(3)，所述挡板(3)设置于所述开槽(2)中并与夹具体(1)可分离式连接，且挡板(3)的一侧端面作为工作端(31)，挡板(3)的上表面作为薄片型样品的承载面(32)，所述挡板(3)的工作端(31)与所述第一端面(11)相平齐。


2.根据权利要求1所述的EBSD测试样品台，其特征在于，所述夹具体(1)的高度不大于25mm。


3.根据权利要求1所述的EBSD测试样品台，其特征在于，所述开槽(2)的宽度为1-5mm。


4.根据权利要求1所述的EBSD测试样品台，其特征在于，所述挡板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈日明，周晶晶，吕迎春，俞卓尔，郭炳焜，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：上海;31