【技术实现步骤摘要】
一种转接样品托组件及真空互联系统
本技术涉及真空机械领域，尤其涉及一种转接样品托组件及真空互联系统。
技术介绍
人造真空可以实现局域的超洁净环境，对特定材料生长、制备等科学研究具有重要意义，如半导体晶圆生长、半导体器件制备、电子扫描显微镜检测物体、透射电子显微镜检测材料的界面等，都是在人造真空环境下进行的。例如，对于低维纳米体系而言，其研究通常需要在清洁的晶体表面进行，但这种清洁的表面很容易被其所处环境中的气体分子污染和腐蚀。假设气体分子到达表面后不会脱附，那么即使在10-9Torr(Torr为压强单位，等于1毫米汞柱)的真空下，只需要1小时，清洁表面便会被吸附的气体分子覆盖满。因此，要想获得长时间稳定存在的低维纳米体系，必须一直处于超高真空的环境(10-10Torr)。为利用超高真空的高洁净特性来连续地研究材料生长、器件制备及性能检测等一系列阶段，需要利用真空管道将相关的材料生长、器件制备、性能检测的设备连接起来，形成真空互联系统，并在真空管道中布置样品传送小车，以将研究的样品从一个设备传送至另一个设备，从...
【技术保护点】
1.一种转接样品托组件，其特征在于，包括圆形样品托(10)和旗形样品托(20)，所述圆形样品托(10)上设有至少一个固定组件(1)，所述固定组件(1)与所述旗形样品托(20)可拆卸连接，所述固定组件(1)包括：/n卡座(11)，包括两个间隔设置的夹持部，所述夹持部上开设有卡缝(111)，所述旗形样品托(20)相对的两侧分别卡入两个所述卡缝(111)中；/n第一弹性夹紧件(12)，能够将所述旗形样品托(20)卡入所述卡缝(111)的两侧夹紧，所述第一弹性夹紧件(12)上开设有两个相对的避让孔(1212)；/n第二弹性夹紧件(13)，所述第二弹性夹紧件(13)的两端分别伸入所述...
【技术特征摘要】
1.一种转接样品托组件，其特征在于，包括圆形样品托(10)和旗形样品托(20)，所述圆形样品托(10)上设有至少一个固定组件(1)，所述固定组件(1)与所述旗形样品托(20)可拆卸连接，所述固定组件(1)包括：
卡座(11)，包括两个间隔设置的夹持部，所述夹持部上开设有卡缝(111)，所述旗形样品托(20)相对的两侧分别卡入两个所述卡缝(111)中；
第一弹性夹紧件(12)，能够将所述旗形样品托(20)卡入所述卡缝(111)的两侧夹紧，所述第一弹性夹紧件(12)上开设有两个相对的避让孔(1212)；
第二弹性夹紧件(13)，所述第二弹性夹紧件(13)的两端分别伸入所述避让孔(1212)并能够将所述旗形样品托(20)卡入所述卡缝(111)的两侧夹紧；
所述第一弹性夹紧件(12)被配置为受力张开时，带动所述第二弹性夹紧件(13)进一步夹紧所述旗形样品托(20)，所述第二弹性夹紧件(13)被配置为受力张开时，带动所述第一弹性夹紧件(12)进一步夹紧所述旗形样品托(20)。
2.根据权利要求1所述的转接样品托组件，其特征在于，所述第一弹性夹紧件(12)上设有两个突舌(1213)，所述第二弹性夹紧件(13)包括两个第二弯折夹紧部(1311)，两个所述第二弯折夹紧部(1311)夹紧所述旗形样品托(20)卡入所述卡缝(111)的两侧，每个所述第二弯折夹紧部(1311)对应一个所述突舌(1213)，所述突舌(1213)与相应的所述第二弯折夹紧部(1311)抵接；
所述第一弹性夹紧件(12)受力张开时，所述突舌(1213)进一步压抵所述第二弯折夹紧部(1311)，使所述第二弯折夹紧部(1311)进一步夹紧所述旗形样品托(20)，所述第二弹性夹紧件(13)受力张开时，所述第二弯折夹紧部(1311)进一步压抵所述突舌(1213)，使所述第一弹性夹紧件(12)进一步夹紧所述旗形样品托(20)。
3.根据权利要求2所述的转接样品托组件，其特征在于，所述卡座(11)为“凵”形，所述卡座(11)相对的两侧开设有所述卡缝(111)。
4.根据权利要求3所述的转接样品托组件，其特征在于，所述第一弹性夹紧件(12)包括两个第一夹紧条(121)和第一连接条(122)，两个所述第一夹紧条(121)间隔设置，所述第一连接条(12...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈爱喜，陈志敏，丁孙安，陆晓鸣，芮芳，凌小伦，李坊森，王利，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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