【技术实现步骤摘要】
一种调幅探针卡及其探针和调幅结构
本专利技术属于探针卡
，尤其涉及一种调幅探针卡及其探针和调幅结构。
技术介绍
随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，或设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，通过对探针卡的互换实现匹配，单个探针卡无法通用。
技术实现思路
本专利...
【技术保护点】
1.一种调幅探针卡，其特征在于，包括探针（1）、探针板（2）、电路板（3）和调幅结构（4），所述的探针（1）被固定设置在探针板（2）上，探针（1）的一端连接至电路板（3），探针（1）的另一端被夹持在调幅结构（4）上；/n所述的探针（1）包括：探针头（1-1）、弯曲导线（1-2）和固定导线（1-3），所述探针头（1-1）的一端为用于检测的圆形探头，探针头（1-1）的中部被夹持在调幅结构（4）上，探针头（1-1）的另一端与弯曲导线（1-2）的一端连接，该弯曲导线（1-2）的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线（1-2）的另一端与固定导线（1-3）的一端连接，固定导线（1-3）的中间...
【技术特征摘要】
1.一种调幅探针卡，其特征在于，包括探针（1）、探针板（2）、电路板（3）和调幅结构（4），所述的探针（1）被固定设置在探针板（2）上，探针（1）的一端连接至电路板（3），探针（1）的另一端被夹持在调幅结构（4）上；
所述的探针（1）包括：探针头（1-1）、弯曲导线（1-2）和固定导线（1-3），所述探针头（1-1）的一端为用于检测的圆形探头，探针头（1-1）的中部被夹持在调幅结构（4）上，探针头（1-1）的另一端与弯曲导线（1-2）的一端连接，该弯曲导线（1-2）的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线（1-2）的另一端与固定导线（1-3）的一端连接，固定导线（1-3）的中间被固定在探针板（2）上，固定导线（1-3）的另一端与电路板（3）连接；
所述的调幅结构（4）包括：固定板（4-1）、调幅板（4-2）、调幅连接板（4-3）、簧片（4-4）、调幅夹板（4-5）、调幅轴（4-6）、主辊（4-7）和偏心辊（4-8），所述的固定板（4-1）与电路板（3）固定连接，所述的调幅板（4-2）上端固定连接在调幅连接板（4-3）上，调幅板（4-2）的下端垂直依次穿过固定板（4-1）、电路板（3）和探针板（2）后与探针（1）固定连接，所述调幅连接板（4-3）的下端与固定板（4-1）之间设置有簧片（4-4），调幅连接板（4-3）的侧面通过调幅夹板（4-5）夹持，构成垂直于固定板（4-1）方向的滑动结构，所述调幅连接板（4-3）的上方设置有调幅轴（4-6），调幅轴（4-6）上设置有主辊（4-7）和偏心辊（4-8）；
多个所述的调幅连接板（4-3）沿所述的探针（1）设置，其中一个所述的调幅连接板（4-3）与一个主辊（4-7）对应设置，剩余的调幅连接板（4-3）均与一个偏心辊（4-8）对应设置；
所述主辊（4-7）为同轴设置在调幅轴（4-6）上的圆辊，所述偏心辊（4-8）内部设置有一个虚拟圆，偏心辊（4-8）的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊（4-8）沿着从主辊（4-7）至远离主辊（4-7）的方向，偏心辊（4-8）上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。
2.根据权利要求1所述的一种调幅探针卡，其特征在于，所述探针板（2）包括：板体（2-1）、探针槽（2-2）、压板槽（2-3）和压板（2-4），所述板体（2-1）上设置有若干容纳探针（1）的探针槽（2-2），所述压板槽（2-3）横穿探针槽（2-2）设置，所述压板（2-4）设置在压板槽（2-3）内，压板（2-4）与板体（2-1）固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种调幅探针卡，其特征在于，所述探针槽（2-2）的底部和压板（2-4...
【专利技术属性】
技术研发人员：王艾琳，赵梁玉，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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