一种探针卡调幅方法技术

本发明专利技术属于探针卡技术领域，尤其涉及一种探针卡调幅方法，包括步骤：确定调幅宽度、驱动调幅板数、确定调幅轴角度、调幅驱动和探针变形，能够使探针卡根据待检测的触点数调整参与检测的探针数量，进而实现探针卡的调幅，使单个探针卡的检测幅度能够进行调整，使探针卡具有通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡调幅方法
本专利技术属于探针卡
，尤其涉及一种探针卡调幅方法。
技术介绍
随着半导体工业的发展，越来越多的电子装置被接入在半导体晶圆上，在半导体器件的制作过程中，将探针与半导体晶圆上的金属端接触，实现临时的电连接，使测试仪的电信号通过探针传输到半导体器件，测试仪通过返回的电信号对半导体晶圆上的电子装置进行检测。探针卡是连接半导体晶圆与测试仪之间的纽带，通过将多个探针集成在探针卡上，使多个探针同时与半导体晶片上的多个半导体器件同时接触，提高检测效率。在半导体器件的生产过程中，需要多次对一个或多个装置内的大量电路触点进行访问，通过移动机构对探针卡进行移动，使探针与触点接触，同时，为匹配检测过程中的多组触点，探针卡需要设置多个，由固持器对探针卡进行固定，固持器为能够旋转的多面体，通过在每个面上设置一个或多个探针卡，或设置多个可移动的平台对探针卡进行移动，实现探针卡与不同触点组的匹配，通过对探针卡的互换实现匹配，单个探针卡无法通用。
技术实现思路
本专利技术克服了上述现有技术的不足，提供了一种探针卡调幅方法，能够调整探针的检测幅度，使单个探针卡具有通用性。本专利技术的技术方案：一种调幅探针卡，包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹持在调幅结构上；所述的探针包括：探针头、弯曲导线和固定导线，所述探针头的一端为用于检测的圆形探头，探针头的中部被夹持在调幅结构上，探针头的另一端与弯曲导线的一端连接，该弯曲导线的中间为被弯曲的弹性结构，弯曲导线的另一端与固定导线的一端连接，固定导线的中间被固定在探针板上，固定导线的另一端与电路板连接；所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅连接板上，调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调幅连接板的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂直于固定板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊和偏心辊；多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。进一步地，所述探针板包括：板体、探针槽、压板槽和压板，所述板体上设置有若干容纳探针的探针槽，所述压板槽横穿探针槽设置，所述压板设置在压板槽内，压板与板体固定连接。进一步地，所述探针槽的底部和压板的底部均设置有用于卡嵌探针的豁口。进一步地，还包括减速结构，减速结构设置在固定板上，且减速结构与调幅轴连接。进一步地，所述减速结构包括：减速框架、减速齿轮和调整轮，所述减速框架固定设在固定板上，减速框架内部设置有若干减速齿轮，所述的调整轮设在减速框架外侧，且调整轮通过减速齿轮与调幅轴连接。进一步地，还包括驱动结构，驱动结构设置在探针卡的上方，驱动结构包括驱动气缸和限位气缸，所述驱动气缸用于驱动所述的调幅结构，多个所述的限位气缸依次设置在所述驱动气缸的行程上，用于对驱动气缸的行程进行限位。进一步地，所述驱动结构上还设置有缓冲结构。一种用于调幅探针卡的驱动结构，所述驱动结构设置在探针卡的上方，驱动结构包括驱动气缸和限位气缸，所述驱动气缸用于驱动所述的调幅结构，多个所述的限位气缸依次设置在所述驱动气缸的行程上，用于对驱动气缸的行程进行限位；所述驱动结构还包括：驱动气缸滑块、驱动气缸滑道、限位气缸滑块、限位气缸滑道、驱动结构固定板、齿条滑块、齿条滑道、齿条连接块、限位接触块和驱动齿条，所述驱动结构固定板的一端向下弯折，向下弯折的边缘固定连接在所述探针卡上，驱动结构固定板的表面纵向设置有驱动气缸，驱动气缸的伸出端与驱动气缸滑块连接，该驱动气缸滑块滑动设置在驱动气缸滑道内，且该驱动气缸滑块上具有向两侧延伸的伸出端，一侧的伸出端延伸至所述驱动气缸滑道外侧后构成齿条连接块，另一侧的伸出端延伸至所述驱动气缸滑道外侧后构成限位接触块，所述的齿条连接块与齿条滑块固定连接，齿条滑块与驱动齿条固定连接，且齿条滑块的两侧嵌入所述的齿条滑道内，所述的驱动齿条与调幅结构的调整轮啮合，多个所述的限位气缸沿所述的驱动气缸滑道间隔设置，每个所述的限位气缸的伸出端均连接有一个限位气缸滑块，每个限位气缸滑块均滑动连接在一个限位气缸滑道上，在所述限位气缸完全伸出后，与该限位气缸连接的限位气缸滑块能够滑动至所述限位接触块的滑动路径上。进一步地，应用在一种调幅探针卡上，调幅探针卡包括探针、探针板、电路板和调幅结构，所述的探针被固定设置在探针板上，探针的一端连接至电路板，探针的另一端被夹持在调幅结构上。进一步地，所述的调幅结构包括：固定板、调幅板、调幅连接板、簧片、调幅夹板、调幅轴、主辊和偏心辊，所述的固定板与电路板固定连接，所述的调幅板上端固定连接在调幅连接板上，调幅板的下端垂直依次穿过固定板、电路板和探针板后与探针固定连接，所述调幅连接板的下端与固定板之间设置有簧片，调幅连接板的侧面通过调幅夹板夹持，构成垂直于固定板方向的滑动结构，所述调幅连接板的上方设置有调幅轴，调幅轴上设置有主辊和偏心辊；多个所述的调幅连接板沿所述的探针设置，其中一个所述的调幅连接板与一个主辊对应设置，剩余的调幅连接板均与一个偏心辊对应设置；所述主辊为同轴设置在调幅轴上的圆辊，所述偏心辊内部设置有一个虚拟圆，偏心辊的边缘处设置有到达该虚拟圆的偏心缺口，若干个偏心辊沿着从主辊至远离主辊的方向，偏心辊上的偏心缺口依次增大，且多个偏心缺口的一侧对齐。进一步地，所述的限位气缸的数量与所述主辊一侧的偏心辊数量相同并对应，并且在驱动气缸伸出至限位气缸的限位行程后，该限位气缸对应的偏心辊下方的调幅连接板从该偏心辊的偏心缺口内转出。进一步地，所述驱动结构上还设置有缓冲结构。一种用于调幅探针卡的缓冲结构，设置在驱动结构上，驱动结构包括：驱动气缸、限位气缸、驱动气缸滑块和限位气缸滑块；所述缓冲结构包括：缓冲托板和缓冲垫，所述缓冲托板上设置有若干个缓冲垫，所述的驱动气缸和限位气缸均设置在所述的缓冲垫上；所述缓冲结构还包括：立板、缓冲筒、活塞块、活塞块顶杆、导向杆、导向杆滑筒、滑筒弹簧、滑筒推杆、滑筒锁和滑筒锁弹簧，所述的立板固定设在缓冲托板上，立板的一端与缓冲筒的上端固定连接，缓冲筒为双筒结构，缓冲筒的内部滑动设置有横跨其内部双筒结构的活塞块，所述的限位气缸的伸出端穿过所述立板并进入所述缓冲筒的一个筒体后与活塞块连接，所述活塞块的一侧设置有活塞块顶杆，所述缓冲筒的下端与所述活塞块顶杆对应设置有滑筒锁，滑筒锁与缓冲筒的内壁之间设置有滑筒锁弹簧，滑筒本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡调幅方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤a、确定调幅宽度：将调幅结构（4）的主辊（4-1）所对应的探针数定义为基本幅度，将待检测芯片所需探针数与基本幅度做差值，得到调幅宽度；/n步骤b、确定调幅板数：从主辊（4-1）至远离主辊（4-1）的方向上，将调幅板（4-2）上的探针数量相加得到调整宽度，直至调整宽度覆盖所述调幅宽度，参与相加的调幅板（4-2）的数量为调幅板数；/n步骤c、确定调幅轴角度：通过转动调幅轴（4-6），将确定的调幅板中，最远离主辊（4-1）的调幅板（4-2）从其对应的偏心辊（4-8）的偏心缺口内转出时，该偏心辊（4-8）从初始位置转动的角度作为调幅轴角度；/n步骤d、调幅驱动：转动调幅轴（4-6），调幅轴（4-6）带动主辊（4-7）和偏心辊（4-8）转动，其中主辊（4-7）对应的调幅板（4-2）固定不动，该调幅板（4-2）上的探针（1）位于检测位置，其中偏心辊（4-8）上对应的调幅板（4-2）从其对应的偏心辊（4-8）的偏心缺口内转出，在偏心辊（4-8）的推挤下，向下运动；/n步骤e探针变形：调幅板（4-2）向下运动，带动探针（1）的探针头（1-1）向下运动，探针（1）中的固定导线（1-3）固定，连接探针头（1-1）和固定导线（1-3）的弯曲导线（1-2）发生弹性变形，探针（1）从准备位置向下移动至检测位置，从而将探针卡的基本幅度向侧面增加至调幅宽度。/n...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡调幅方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤a、确定调幅宽度：将调幅结构（4）的主辊（4-1）所对应的探针数定义为基本幅度，将待检测芯片所需探针数与基本幅度做差值，得到调幅宽度；
步骤b、确定调幅板数：从主辊（4-1）至远离主辊（4-1）的方向上，将调幅板（4-2）上的探针数量相加得到调整宽度，直至调整宽度覆盖所述调幅宽度，参与相加的调幅板（4-2）的数量为调幅板数；
步骤c、确定调幅轴角度：通过转动调幅轴（4-6），将确定的调幅板中，最远离主辊（4-1）的调幅板（4-2）从其对应的偏心辊（4-8）的偏心缺口内转出时，该偏心辊（4-8）从初始位置转动的角度作为调幅轴角度；
步骤d、调幅驱动：转动调幅轴（4-6），调幅轴（4-6）带动主辊（4-7）和偏心辊（4-8）转动，其中主辊（4-7）对应的调幅板（4-2）固定不动，该调幅板（4-2）上的探针（1）位于检测位置，其中偏心辊（4-8）上对应的调幅板（4-2）从其对应的偏心辊（4-8）的偏心缺口内转出，在偏心辊（4-8）的推挤下，向下运动；
步骤e探针变形：调幅板（4-2）向下运动，带动探针（1）的探针头（1-1）向下运动，探针（1）中的固定导线（1-3）固定，连接探针头（1-1）和固定导线（1-3）的弯曲导线（1-2）发生弹性变形，探针（1）从准备位置向下移动至检测位置，从而将探针卡的基本幅度向侧面增加至调幅宽度。


2.根据权利要求1所述的一种探针卡调幅方法，其特征在于，所述偏心辊（4-8）对应的调幅板（4-2）上固定有多个探针（1），在确定调幅板数时，将调幅板（4-2）对应的一组探针（1）数进行相加，直至调整宽度不小于调幅宽度。


3.根据权利要求2所述的一种探针卡调幅方法，其特征在于，在转动调幅轴（4-6）时，通过转动调整轮（5-3）带动调幅轴（4-6）转动，同时通过连接在调整轮（5-3）和调幅轴（4-6）之间的减速结构（5）进行减速。


4.根据权利要求1、2或3任一项所述的一种探针卡调幅方法，其特征在于，使用一种调幅探针卡进行调幅，该调幅探针卡包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：王艾琳，赵梁玉，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32