一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法技术

本发明专利技术公开一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法，包括：a、采用主控计算机、测试模块、矩阵控制面板、探针卡、探针台、显微镜与探针台控制模块构建测试系统；b、将待测晶圆置于探针台的承片台上；探针台控制模块对探针台进行控制，对待测晶圆进行定位，使探针卡与待测晶圆对应连接；c、主控计算机控制电源模块对待测晶圆施加阶梯电压，CV测量模块测量与阶梯电压相对应的阶梯电容，阶梯电容与待测晶圆的镜面偏转角度相对应；d、主控计算机通过采集模块读取测试结果，并绘制阶梯电压、阶梯电容与待测晶圆的镜面偏转角度的对应关系图；该方法采用电学测试方式，测量精度高，减少测试时间，节省成本。

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法
本专利技术涉及微机电系统测试
，具体是一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法。
技术介绍
MEMS指微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem），泛指利用微加工技术制造的微型器件或微型系统，主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。MEMS微镜是应用MEMS技术将微型镜面和驱动器集成研制的光反射型器件，通过微机电驱动机构控制镜面的扭转结构使镜面偏转并精确控制旋转角度，实现光线的传播方向。MEMS器件的封装在整个生产过程中占有较高的成本（50%左右），为避免有缺陷的器件流入后续的封装环节而导致资源的浪费，急需研究出一种高效准确的MEMS器件测试方法。近年来，MEMS器件测试方法相继被提出，例如江苏物联网研究发展中心的谭振新等人开发了基于激光多普勒测振仪和半自动探针台的MEMS产品的晶圆级测试系统。为克服该测试系统中存在测试时间较长，测量精度较低等缺点，江苏物联网研究发展中心马晶晶等人提出MEMS陀螺芯片晶圆级电学测试系统及测试和筛选方法，满足大量生产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法，其特征在于，包括：/na、采用主控计算机、测试模块、矩阵控制面板、探针卡、探针台、显微镜与探针台控制模块构建测试系统，所述测试模块集成有I/O控制器、电源模块、采集模块、PXI总线嵌入式控制器与CV测量模块；/n探针台控制模块与CV测量模块分别通过USB-GPIB转接线与主控计算机连接；I/O控制器、电源模块与矩阵控制板对应连接；探针卡与电源模块、采集模块以及CV测量模块的测试通道对应连接，矩阵控制板与探针卡连接；/nb、将待测晶圆置于探针台的承片台上；探针台控制模块对探针台进行控制，对待测晶圆进行定位，使探针卡与待测晶圆对应连接；/nc、主控计算...

【技术特征摘要】
1.一种MEMS微镜晶圆级全自动电学测试方法，其特征在于，包括：
a、采用主控计算机、测试模块、矩阵控制面板、探针卡、探针台、显微镜与探针台控制模块构建测试系统，所述测试模块集成有I/O控制器、电源模块、采集模块、PXI总线嵌入式控制器与CV测量模块；
探针台控制模块与CV测量模块分别通过USB-GPIB转接线与主控计算机连接；I/O控制器、电源模块与矩阵控制板对应连接；探针卡与电源模块、采集模块以及CV测量模块的测试通道对应连接，矩阵控制板与探针卡连接；
b、将待测晶圆置于探针台的承片台上；探针台控制模块对探针台进行控制，对待测晶圆进行定位，使探针卡与待测晶圆对应连接；
c、主控计算机控制电源模块对待测晶圆施加阶梯电压，CV测量模块测量与阶梯电压相对应的阶梯电容，阶梯电容...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢玉巧，郑宇，方岚，李苏苏，陈徐州，明源，
申请(专利权)人：华东光电集成器件研究所，
类型：发明
国别省市：安徽;34