【技术实现步骤摘要】
一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构
本专利技术涉及单晶硅片加工
,具体为一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构。
技术介绍
单晶硅片是硅的单晶体,是一种具有基本完整的点阵结构的晶体,不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料,用于制造半导体器件、太阳能电池等,用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成,单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿,其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。单晶硅片是单晶硅棒经由一系列工艺切割而成的,而单晶硅棒从单晶炉中取出时需要对其进行夹持,但是现有的夹紧机构在夹持时只是通过摩擦力进行夹持,无法保证夹持稳定性,而且夹持取出后无法对单晶硅棒的角度方向进行调节,不便于安放,故而提出了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,具备夹持稳定,可以调节角度的优点,解决了单晶硅片是单晶硅棒经 ...
【技术保护点】
1.一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,包括移动底座(1),其特征在于:所述移动底座(1)顶部左侧固定安装有第一电动滑台(2),所述第一电动滑台(2)的滑块转动连接有位于第一电动滑台(2)右侧的转动板(3),所述转动板(3)底部滑动连接有连接杆(4),所述连接杆(4)底部固定连接有连接头(5),所述连接头(5)前侧固定安装有控制装置(6),所述连接头(5)内开设有安装腔(7),所述连接头(5)左侧转动连接有贯穿安装腔(7)并延伸至连接头(5)右侧的转动杆(8),所述转动杆(8)外壁固定连接有位于安装腔(7)内的限位齿轮(9),所述安装腔(7)底壁固定安装有位于限位齿轮(9 ...
【技术特征摘要】
1.一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,包括移动底座(1),其特征在于:所述移动底座(1)顶部左侧固定安装有第一电动滑台(2),所述第一电动滑台(2)的滑块转动连接有位于第一电动滑台(2)右侧的转动板(3),所述转动板(3)底部滑动连接有连接杆(4),所述连接杆(4)底部固定连接有连接头(5),所述连接头(5)前侧固定安装有控制装置(6),所述连接头(5)内开设有安装腔(7),所述连接头(5)左侧转动连接有贯穿安装腔(7)并延伸至连接头(5)右侧的转动杆(8),所述转动杆(8)外壁固定连接有位于安装腔(7)内的限位齿轮(9),所述安装腔(7)底壁固定安装有位于限位齿轮(9)右侧的限位装置(10),所述安装腔(7)底壁固定安装有位于限位装置(10)右侧的电磁铁(11),所述转动杆(8)左侧固定连接有第一手轮(12),所述连接头(5)左侧固定连接有与转动杆(8)相套接的握持座(13),所述转动杆(8)右侧固定连接有夹持座(14),所述夹持座(14)右侧开设有安装槽(15),所述夹持座(14)前侧转动连接有贯穿夹持座(14)并延伸至安装槽(15)内的双向丝杆(16),所述双向丝杆(16)前侧固定连接有第二手轮(17),所述双向丝杆(16)的输出轴螺纹连接有位于安装槽(15)内且数量为两个的丝杆螺母(18),所述丝杆螺母(18)右侧固定连接有夹持装置(19),所述夹持座(14)底部固定连接有第二电动滑台(20),所述第二电动滑台(20)的滑块固定连接有托举装置(21),所述移动底座(1)顶部固定安装有位于第一电动滑台(2)右侧的电气控制柜(22)。
2.根据权利要求1所述的一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,其特征在于:所述移动底座(1)底部前后两侧均固定安装有数量为两个的可刹车式移动轮,所述第一电动滑台(2)左侧固定连接有手推杆。
3.根据权利要求1所述的一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,其特征在于:所述第一电动滑台(2)的滑块右侧固定连接有与转动板(3)相适配的转动座,所述转动板(3)通过旋转阻尼器与转动座转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种夹持稳定的单晶硅片加工用夹紧机构,其特征在于:所述转动板(3)底部开设有与连接杆(4)相适配的滑槽,所述连接杆...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈春成,戚建静,
申请(专利权)人:江苏晶品新能源科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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