一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架制造技术

一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，属于晶体制备装置技术领域。本实用新型专利技术解决了而目前用于晶体制备装置的支架寿命短，硬度差，隔热效果不好的缺陷问题。本实用新型专利技术包括上支撑块、中间支撑块和下支撑块，上支撑块和下支撑块通过中间支撑块连接。本实用新型专利技术的支架操作简单，安装方便，材料易得，加工精度高，材料支撑强度高，通过层状结构可以有效的减少热损失，在制备晶体时，隔绝了热场中的热向下传导，保证底盘处温度处于低点，起到了良好的隔热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架
本技术涉及一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，属于晶体制备装置

技术介绍
氮化铝属于第三代半导体材料之一，它具有高禁带宽度、高击穿场强、高热导率、高饱和电子飘逸速率以及化学稳定性强等优异特性，在高温、高频、高功率、抗辐射器件和深紫外光电击器件等方面均具有广阔的应用前景；目前，在氮化铝设备长晶时需要热场能上下移动和旋转，使加温均匀和达到长晶所需的工艺要求，现有工艺是用石墨做支撑支架，连接热场和传动系统，支撑支架是圆形结构，现有的支撑支架存在以下几点问题：1.如使用硬毡材质的支架时，由于热场过重，硬毡强度不够，在加热状态上使用会缩短支架寿命，仅使用一次就需要更换支架，浪费材料和时间；2.使用高强度石墨做支架时，在感应加热的状态下圆筒形石墨材料会产生大量的感应电流发热，影响热场原有设计，致使支架也变成了加热器，对长晶过程影响非常大。综上所述，亟需一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架用以解决目前的支架存在的问题。技术内容本技术解决本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：包括上支撑块(1)、中间支撑块(2)和下支撑块(3)，上支撑块(1)和下支撑块(3)通过中间支撑块(2)连接；/n所述上支撑块(1)包括上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)、支撑坩埚板(13)和上支架连接螺栓(14)，上支撑板(11)的上端面与第一中间支撑板(12)的下端面接触，第一中间支撑板(12)的上端面与支撑坩埚板(13)的下端面接触，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过上支架连接螺栓(14)固定连接；/n所述中间支撑块(2)包括多个支撑立板(21)，多个支撑立板(21)通过正反方向互插式安装形成...

【技术特征摘要】
1.一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：包括上支撑块(1)、中间支撑块(2)和下支撑块(3)，上支撑块(1)和下支撑块(3)通过中间支撑块(2)连接；
所述上支撑块(1)包括上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)、支撑坩埚板(13)和上支架连接螺栓(14)，上支撑板(11)的上端面与第一中间支撑板(12)的下端面接触，第一中间支撑板(12)的上端面与支撑坩埚板(13)的下端面接触，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过上支架连接螺栓(14)固定连接；
所述中间支撑块(2)包括多个支撑立板(21)，多个支撑立板(21)通过正反方向互插式安装形成中间支撑块(2)；
所述下支撑块(3)包括下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)、下支撑板(33)和下支架连接螺栓(34)，下支撑连接板(31)的下端面与第二中间支撑板(32)的上端面接触，第二中间支撑板(32)的下端面与下支撑板(33)的上端面接触，下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)和下支撑板(33)通过下支架连接螺栓(34)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述上支撑板(11)为圆形薄板，上支撑板(11)上开有多个通孔，上支撑板(11)上开有方孔。


3.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述第一中间支撑板(12)为圆形薄板，第一中间支撑板(12)上开有多个通孔。


4.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23