一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架制造技术

一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，属于晶体制备装置技术领域。本实用新型专利技术解决了而目前用于晶体制备装置的支架寿命短，硬度差，隔热效果不好的缺陷问题。本实用新型专利技术包括上支撑块、中间支撑块和下支撑块，上支撑块和下支撑块通过中间支撑块连接。本实用新型专利技术的支架操作简单，安装方便，材料易得，加工精度高，材料支撑强度高，通过层状结构可以有效的减少热损失，在制备晶体时，隔绝了热场中的热向下传导，保证底盘处温度处于低点，起到了良好的隔热效果。

【技术实现步骤摘要】
一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架
本技术涉及一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，属于晶体制备装置

技术介绍
氮化铝属于第三代半导体材料之一，它具有高禁带宽度、高击穿场强、高热导率、高饱和电子飘逸速率以及化学稳定性强等优异特性，在高温、高频、高功率、抗辐射器件和深紫外光电击器件等方面均具有广阔的应用前景；目前，在氮化铝设备长晶时需要热场能上下移动和旋转，使加温均匀和达到长晶所需的工艺要求，现有工艺是用石墨做支撑支架，连接热场和传动系统，支撑支架是圆形结构，现有的支撑支架存在以下几点问题：1.如使用硬毡材质的支架时，由于热场过重，硬毡强度不够，在加热状态上使用会缩短支架寿命，仅使用一次就需要更换支架，浪费材料和时间；2.使用高强度石墨做支架时，在感应加热的状态下圆筒形石墨材料会产生大量的感应电流发热，影响热场原有设计，致使支架也变成了加热器，对长晶过程影响非常大。综上所述，亟需一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架用以解决目前的支架存在的问题。
技术实现思路
本技术解决了目前在制备氮化铝设备中的支架寿命短，硬度差，隔热效果不好的缺陷问题，针对现有技术的不足，本技术刚开了“一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架”。在下文中给出了关于本技术的简要概述，以便提供关于本技术的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本技术的穷举性概述。它并不是意图确定本技术的关键或重要部分，也不是意图限定本技术的范围。本技术的技术方案：一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，包括上支撑块、中间支撑块和下支撑块，上支撑块和下支撑块通过中间支撑块连接；所述上支撑块包括上支撑板、第一中间支撑板、支撑坩埚板和上支架连接螺栓，上支撑板的上端面与第一中间支撑板的下端面连接，第一中间支撑板的上端面与支撑坩埚板的下端面连接，上支撑板、第一中间支撑板和支撑坩埚板通过上支架连接螺栓固定连接；所述中间支撑块包括多个支撑立板，多个支撑立板通过正反方向互插式安装形成中间支撑块；所述下支撑块包括下支撑连接板、第二中间支撑板、下支撑板和下支架连接螺栓，下支撑连接板的下端面与第二中间支撑板的上端面连接，第二中间支撑板的下端面与下支撑板的上端面连接，下支撑连接板、第二中间支撑板和下支撑板通过下支架连接螺栓固定连接。进一步的，所述上支撑板为圆形薄板，上支撑板上开有多个通孔，上支撑板上开有方孔。进一步的，所述第一中间支撑板为圆形薄板，第一中间支撑板上开有多个通孔。进一步的，所述支撑坩埚板为圆形薄板，支撑坩埚板的中心开有圆形通孔，支撑坩埚板上开有多个通孔。进一步的，所述支撑立板为方形板，支撑立板的顶部均匀开有多个方形槽。进一步的，所述下支撑连接板为圆形薄板，下支撑连接板的中心开有方形孔，下支撑连接板上开有多个通孔。进一步的，所述第二中间支撑板为圆形薄板，第二中间支撑板上开有多个圆形通孔。进一步的，所述下支撑板为圆形薄板，下支撑板的中心开有圆形通孔，下支撑板上开有多个通孔。进一步的，所述上支撑块由3片上支撑板、7片第一中间支撑板和2片支撑坩埚板依次安装组成，上支撑板、第一中间支撑板和支撑坩埚板通过叠加方式安装，并通过上支架连接螺栓固定所述下支撑块由3片下支撑连接板、6片第二中间支撑板和7片下支撑板依次安装组成，下支撑连接板、第二中间支撑板和下支撑板的安装方式为叠加方式安装，并通过下支架连接螺栓固定。本技术的有益效果：1.本技术的支架操作简单，安装方便，材料易得，加工精度高，材料支撑强度高，寿命长；2.本技术的支架结构非石墨材质，也不是圆筒形结构，不会产生感应加热效应，并因为层装结构，可以有效的减少热损失，隔绝了热向下传导，保证底盘处温度处于低点，起到隔热效果。附图说明图1为一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架整体示意图；图2为一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架爆炸图；图3为本技术的上支撑板俯视图；图4为本技术的第一中间支撑板俯视图；图5为本技术的支撑坩埚板俯视图；图6为本技术的支撑立板主视图；图7为本技术的支撑立板安装方式示意图；图8为本技术的下支撑连接板俯视图；图9为本技术的第二中间支撑板俯视图；图10为本技术的下支撑板俯视图；图11为本技术在AlN长晶设备中的安装位置示意图；图12为一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架剖视图。图中1-上支撑块，2-中间支撑块，3-下支撑块，11-上支撑板，12-第一中间支撑板，13-支撑坩埚板，14-上支架连接螺栓，21-支撑立板，31-下支撑连接板，32-第二中间支撑板，33-下支撑板，34-下支架连接螺栓，4-支撑底盘，5-机械传动系统，6-热场，7-石英管。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和有点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本技术。但是应该理解，这些描述都是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，比避免不必要的混淆本技术的概念。具体实施方式一：结合图1、图2、图11和图12说明本实施方式，本实施方式的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，包括上支撑块1、中间支撑块2和下支撑块3，上支撑块1和下支撑块3通过中间支撑块2连接；所述上支撑块1包括上支撑板11、第一中间支撑板12、支撑坩埚板13和上支架连接螺栓14，上支撑板11的上端面与第一中间支撑板12的下端面连接，第一中间支撑板12的上端面与支撑坩埚板13的下端面连接，上支撑板11、第一中间支撑板12和支撑坩埚板13通过上支架连接螺栓14固定连接；所述中间支撑块2包括多个支撑立板21，多个支撑立板21通过正反方向互插式安装形成中间支撑块2；所述下支撑块3包括下支撑连接板31、第二中间支撑板32、下支撑板33和下支架连接螺栓34，下支撑连接板31的下端面与第二中间支撑板32的上端面连接，第二中间支撑板32的下端面与下支撑板33的上端面连接，下支撑连接板31、第二中间支撑板32和下支撑板33通过下支架连接螺栓34固定连接；首先将上支撑块1、中间支撑块2和下支撑块3安装完毕后，将中间支撑块2一端插入上支撑块1底部的方孔中，将中间支撑块2的另一端插入下支撑块3顶部的方孔中，再将支架整体套入石英管7内，固定在支撑底盘4上，热场6安装在上支撑块1的上端面，通过固定销固定(如图11所示)支架整体结构选用碳为原材料代替原材料石墨，上支撑板11、第一中间支撑板12、支撑坩埚板13、支撑立板21、下支撑连接板31、第二中间支撑板32和下支撑板33的材质原料为板材，每张板材厚度为5mm-10mm。具体实施方式二：结合图3-图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：包括上支撑块(1)、中间支撑块(2)和下支撑块(3)，上支撑块(1)和下支撑块(3)通过中间支撑块(2)连接；/n所述上支撑块(1)包括上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)、支撑坩埚板(13)和上支架连接螺栓(14)，上支撑板(11)的上端面与第一中间支撑板(12)的下端面接触，第一中间支撑板(12)的上端面与支撑坩埚板(13)的下端面接触，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过上支架连接螺栓(14)固定连接；/n所述中间支撑块(2)包括多个支撑立板(21)，多个支撑立板(21)通过正反方向互插式安装形成中间支撑块(2)；/n所述下支撑块(3)包括下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)、下支撑板(33)和下支架连接螺栓(34)，下支撑连接板(31)的下端面与第二中间支撑板(32)的上端面接触，第二中间支撑板(32)的下端面与下支撑板(33)的上端面接触，下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)和下支撑板(33)通过下支架连接螺栓(34)固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：包括上支撑块(1)、中间支撑块(2)和下支撑块(3)，上支撑块(1)和下支撑块(3)通过中间支撑块(2)连接；
所述上支撑块(1)包括上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)、支撑坩埚板(13)和上支架连接螺栓(14)，上支撑板(11)的上端面与第一中间支撑板(12)的下端面接触，第一中间支撑板(12)的上端面与支撑坩埚板(13)的下端面接触，上支撑板(11)、第一中间支撑板(12)和支撑坩埚板(13)通过上支架连接螺栓(14)固定连接；
所述中间支撑块(2)包括多个支撑立板(21)，多个支撑立板(21)通过正反方向互插式安装形成中间支撑块(2)；
所述下支撑块(3)包括下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)、下支撑板(33)和下支架连接螺栓(34)，下支撑连接板(31)的下端面与第二中间支撑板(32)的上端面接触，第二中间支撑板(32)的下端面与下支撑板(33)的上端面接触，下支撑连接板(31)、第二中间支撑板(32)和下支撑板(33)通过下支架连接螺栓(34)固定连接。


2.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述上支撑板(11)为圆形薄板，上支撑板(11)上开有多个通孔，上支撑板(11)上开有方孔。


3.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在于：所述第一中间支撑板(12)为圆形薄板，第一中间支撑板(12)上开有多个通孔。


4.根据权利要求1所述的一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23