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一种能用于AlN设备长晶支撑热场隔热的支架,属于晶体制备装置技术领域。本实用新型解决了而目前用于晶体制备装置的支架寿命短,硬度差,隔热效果不好的缺陷问题。本实用新型包括上支撑块、中间支撑块和下支撑块,上支撑块和下支撑块通过中间支撑块连接。本...该专利属于哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司授权不得商用。