一种真空光学镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空光学镀膜机，涉及镀膜机技术领域。本实用新型专利技术包括壳体，壳体内设有蒸发室和镀膜室，蒸发室内设有加热装置，蒸发室和镀膜室之间均设有隔离板，隔离板的一侧板面设有第一安装槽、第一挡板、第二安装槽和第二挡板，隔离板的板面上整列有多个第一通孔，第二挡板上设有与第一通孔相互配合的第二通孔。本实用新型专利技术通过设置第一挡板和第二挡板，通过将第一通孔完全挡住隔离蒸发室和镀膜室，可以将内部的空气处理完，不影响镀膜质量，且通过第二挡板进而控制裸露的第一通孔的大小，控制膜成型后期空间中的气态薄膜材料以较小的量沉积在基板上实现精密把控。

【技术实现步骤摘要】
一种真空光学镀膜机
本技术属于镀膜机
，特别是涉及一种真空光学镀膜机。
技术介绍
光学薄膜，由薄的分层介质构成的，通过界面传播光束的一类光学介质材料。目前，光学薄膜制作通常以物理蒸镀法为主，该方法为将薄膜材料由固态转化为气态或离子态，气态或离子态的材料，由蒸发源穿越空间，抵达基板表面，最后沉积逐渐形成薄膜。通常，为了制作高纯度的薄膜，镀膜的制程需于高真空环境下完成，前期需要抽离空气，防止影响镀膜质量。但是当膜成型的后期无法控制其空间中的气态薄膜材料继续以较小的量沉积在基板上，导致光学薄膜厚度无法精密把控。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空光学镀膜机，通过设置第一挡板和第二挡板，通过第一电动直线导轨控制将第一通孔完全挡住，进而隔离蒸发室和镀膜室，可以将内部的空气处理完，不影响镀膜质量，且通过第二电动直线导轨控制第二挡板进而控制裸露的第一通孔的大小，用于控制膜成型后期空间中的气态薄膜材料以较小的量沉积在基板上实现精密把控。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种真空光学镀膜机，包括壳体，所述壳体内设有蒸发室和镀膜室，蒸发室内设有加热装置，所述蒸发室和镀膜室之间均设有隔离板；所述隔离板的一侧板面设有第一安装槽，第一安装槽的一侧壁上设有限位槽，第一安装槽的底部嵌入安装有第一电动直线导轨，第一电动直线导轨的滑块上固定安装有第一挡板，第一挡板上设有与限位槽相互配合的密封条；所述隔离板上嵌入设有第二安装槽，第二安装槽的深度和宽度与第一安装槽相同，第二安装槽的底部嵌入安装有第二电动直线导轨，第二电动直线导轨的滑块上固定安装有第二挡板；所述第一安装槽靠近限位槽一侧的板面上整列垂直贯穿有多个第一通孔，第二挡板上设有与第一通孔相互配合的第二通孔。进一步地，所述蒸发室和镀膜室内均设有真空管，真空管的另一端均穿过壳体连接真空泵。进一步地，所述加热装置为钨螺旋加热子。进一步地，所述镀膜室的上壁和下壁内均嵌入安装有旋转电机，旋转电机的输出端上固定连接有安装爪。进一步地，所述第一挡板和第二挡板的宽度为第一安装槽宽度的二分之一，且远离限位槽的第一通孔到限位槽侧壁的最短距离小于等于第一安装槽宽度的二分之一。进一步地，所述壳体上固定安装有电控箱，加热装置、第一电动直线导轨、第二电动直线导轨和旋转电机均电性连接电控箱。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过设置第一挡板和第二挡板，通过第一电动直线导轨控制将第一通孔完全挡住，进而隔离蒸发室和镀膜室，可以将内部的空气处理完，不影响镀膜质量，且通过第二电动直线导轨控制第二挡板进而控制裸露的第一通孔的大小，用于控制膜成型后期空间中的气态薄膜材料以较小的量沉积在基板上实现精密把控，解决了当膜成型的后期无法控制其空间中的气态薄膜材料继续以较小的量沉积在基板上的问题。2、本技术通过设置旋转电机和安装爪，工件随着旋转电机上的安装爪转动进行转动，有利于镀膜厚度更加均匀。3、本技术通过设置限位槽和密封条，通过限位槽和密封条使第一挡板与隔离板密封更加紧密。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术一种真空光学镀膜机的立体结构示意图；图2为本技术中的隔离板的立体结构示意图；图3为图2的俯视图；图4为本技术中的部分结构示意图；图5为本技术中的第二挡板的立体结构示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-壳体，2-蒸发室，3-镀膜室，4-隔离板，5-第一电动直线导轨，6-第一挡板，7-第二电动直线导轨，8-第二挡板，9-第一通孔，10-真空管，11-电控箱，21-加热装置，31-旋转电机，32-安装爪，41-第一安装槽，42-限位槽，43-密封条，44-第二安装槽，81-第二通孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“中”、“壁”、“内”、“外”、“端”、“侧”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。请参阅图1所示，一种真空光学镀膜机，包括壳体1，壳体1内设有蒸发室2和镀膜室3，蒸发室2和镀膜室3内均设有真空管10，真空管10的另一端均穿过壳体1连接真空泵，通过真空泵对其内部进行抽真空。蒸发室2内设有加热装置21，加热装置21为钨螺旋加热子，钨螺旋加热子具有很强的抗腐蚀性和高温性能，稳定性好，使用寿命长的优点，使用时将材料放置在钨螺旋加热子上进行加热蒸发。镀膜室3的上壁和下壁内均嵌入安装有旋转电机31，旋转电机31的输出端上固定连接有安装爪32，将镀膜工件放置在安装爪32上，工件随着旋转电机31转动进行转动，有利于镀膜厚度更加均匀。请一并参阅图1、图2和图3所示，蒸发室2和镀膜室3之间均设有隔离板4，隔离板4的一侧板面设有第一安装槽41，第一安装槽41的一侧壁上设有限位槽42，第一安装槽41的底部嵌入安装有第一电动直线导轨5，第一电动直线导轨5的滑块上固定安装有第一挡板6，第一挡板6上设有与限位槽42相互配合的密封条43，用于密封，使第一挡板6与隔离板4密封更加紧密；请一并参阅2、图3和图5所示，隔离板4上嵌入设有第二安装槽44，第二安装槽44的深度和宽度与第一安装槽41相同，第二安装槽44的底部嵌入安装有第二电动直线导轨7，第二电动直线导轨7的滑块上固定安装有第二挡板8，通过第二电动直线导轨7带动第二挡板8运动，进而控制第二挡板8与第一通孔9的位置关系，根据实际需要调整裸露的第一通孔9的大小，用于控制膜成型后期空间中的气态薄膜材料以较小的量沉积在基板上实现精密把控。第一安装槽41靠近限位槽42一侧的板面上整列垂直贯穿有多个第一通孔9，第二挡板8上设有与第一通孔9相互配合的第二通孔81，使用时，通过控制第一电动直线导轨5带动第一挡板6将密封条43插入第一安装槽41内壁上的限位槽42内，此时第一挡板6将第一通孔9完全挡住，进而隔离蒸发室2和镀膜室3，人们可以将蒸发室2内的空气处理完，不影响镀膜质量。第一挡板6和第二挡板8的宽度为第一安装槽41宽度的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空光学镀膜机，包括壳体(1)，所述壳体(1)内设有蒸发室(2)和镀膜室(3)，蒸发室(2)内设有加热装置(21)，其特征在于，所述蒸发室(2)和镀膜室(3)之间均设有隔离板(4)；/n所述隔离板(4)的一侧板面设有第一安装槽(41)，第一安装槽(41)的一侧壁上设有限位槽(42)，第一安装槽(41)的底部嵌入安装有第一电动直线导轨(5)，第一电动直线导轨(5)的滑块上固定安装有第一挡板(6)，第一挡板(6)上设有与限位槽(42)相互配合的密封条(43)；/n所述隔离板(4)上嵌入设有第二安装槽(44)，第二安装槽(44)的深度和宽度与第一安装槽(41)相同，第二安装槽(44)的底部嵌入安装有第二电动直线导轨(7)，第二电动直线导轨(7)的滑块上固定安装有第二挡板(8)；/n所述第一安装槽(41)靠近限位槽(42)一侧的板面上整列垂直贯穿有多个第一通孔(9)，第二挡板(8)上设有与第一通孔(9)相互配合的第二通孔(81)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空光学镀膜机，包括壳体(1)，所述壳体(1)内设有蒸发室(2)和镀膜室(3)，蒸发室(2)内设有加热装置(21)，其特征在于，所述蒸发室(2)和镀膜室(3)之间均设有隔离板(4)；
所述隔离板(4)的一侧板面设有第一安装槽(41)，第一安装槽(41)的一侧壁上设有限位槽(42)，第一安装槽(41)的底部嵌入安装有第一电动直线导轨(5)，第一电动直线导轨(5)的滑块上固定安装有第一挡板(6)，第一挡板(6)上设有与限位槽(42)相互配合的密封条(43)；
所述隔离板(4)上嵌入设有第二安装槽(44)，第二安装槽(44)的深度和宽度与第一安装槽(41)相同，第二安装槽(44)的底部嵌入安装有第二电动直线导轨(7)，第二电动直线导轨(7)的滑块上固定安装有第二挡板(8)；
所述第一安装槽(41)靠近限位槽(42)一侧的板面上整列垂直贯穿有多个第一通孔(9)，第二挡板(8)上设有与第一通孔(9)相互配合的第二通孔(81)。


2.根据权利要求1所述的一种真空光学镀膜机...

【专利技术属性】
技术研发人员：王琦，王海军，王阜平，
申请(专利权)人：南京明瑞光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32