蒸发源制造技术

本实用新型专利技术涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚；冷却装置包括冷却箱和冷却组件；冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽，坩埚一一对应设置于装配槽内；冷却组件位于冷却箱上，加热装置位于冷却箱内，其中，冷却组件设置成冷却冷却箱，加热装置设置成加热坩埚。本实用新型专利技术所提供的蒸发源能够进行多种材料蒸镀的同时，避免不同材料之间的相互掺杂。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源
本技术涉及显示设备
，尤其涉及一种蒸发源。
技术介绍
OLED(OrganicLight-EmittingDiode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。构成有机电致发光器件的各膜层一般通过真空蒸发镀膜形成，真空蒸发镀膜的基本原理是将镀膜材料放置于蒸镀装置的蒸发源中加热蒸发，形成的镀膜材料的气体分子或原子沉积到待镀膜基板上形成膜层。现有蒸镀装置的蒸发源虽然能够进行有机电致发光器件的制作，但是，为了满足有机电致发光器件(OLED)的高分辨率显示及大尺寸设计等需求，需要提高应用于大面积玻璃的镀膜工艺的效率。此外，这种对应于大面积玻璃基板的线型蒸发源的有机物材料(升华性材料、液化性材料及同时具有升华性和液化性的材料等)具有不同的物理性质和化学性质，因此，还需要避免有机材料的相互掺杂。但是现有的蒸发源设备蒸镀效率低，并且同时蒸镀多种材料存在相互掺杂，从而导致显示面板制造效率低、优质率低、成本增高等问题。
技术实现思路
本技术提供了一种蒸发源，该蒸发源能够进行多种材料的单独或同时蒸镀本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括冷却装置(1)、加热装置(2)和多个坩埚(3)；/n所述冷却装置(1)包括冷却箱(11)和冷却组件(12)；/n所述冷却箱(11)设置有多个彼此独立的装配槽(111a)，所述坩埚(3)一一对应设置于所述装配槽(111a)内；/n所述冷却组件(12)位于所述冷却箱(11)上，所述加热装置(2)位于所述冷却箱(11)内，其中，所述冷却组件(12)设置成冷却所述冷却箱(11)，所述加热装置(2)设置成加热所述坩埚(3)。/n

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源，其特征在于，包括冷却装置(1)、加热装置(2)和多个坩埚(3)；
所述冷却装置(1)包括冷却箱(11)和冷却组件(12)；
所述冷却箱(11)设置有多个彼此独立的装配槽(111a)，所述坩埚(3)一一对应设置于所述装配槽(111a)内；
所述冷却组件(12)位于所述冷却箱(11)上，所述加热装置(2)位于所述冷却箱(11)内，其中，所述冷却组件(12)设置成冷却所述冷却箱(11)，所述加热装置(2)设置成加热所述坩埚(3)。


2.根据权利要求1所述的蒸发源，其特征在于，所述加热装置(2)围绕所述冷却箱(11)的侧壁设置和/或设置于所述冷却箱(11)的底部；
所述冷却箱(11)的侧壁和底壁均设置有所述冷却组件(12)。


3.根据权利要求1或2所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却箱(11)包括：
箱体(111)，所述箱体(111)设置有多个彼此独立的所述装配槽(111a)，所述冷却组件(12)位于所述箱体(111)上；
多个冷却内套(112)，所述冷却内套(112)一一对应设置于所述装配槽(111a)内，所述坩埚(3)与所述冷却内套(112)之间设置有所述加热装置(2)；
其中，所述冷却内套(112)为金属材料制成，所述冷却组件(12)设置成冷却所述箱体(111)与所述冷却内套(112)。


4.根据权利要求3所述的蒸发源，其特征在于，所述冷却组件(12)包括多个彼此相互...

【专利技术属性】
技术研发人员：轩景泉，林文晶，马晓宇，
申请(专利权)人：上海升翕光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31