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蒸发源制造技术
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文档序号:26239546
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本实用新型涉及显示设备技术领域,尤其涉及一种蒸发源。该蒸发源包括冷却装置、加热装置和多个坩埚;冷却装置包括冷却箱和冷却组件;冷却箱设置有多个彼此独立的装配槽,坩埚一一对应设置于装配槽内;冷却组件位于冷却箱上,加热装置位于冷却箱内,其中,冷却...
该专利属于上海升翕光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海升翕光电科技有限公司授权不得商用。
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