一种半导体元件蒸发镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体元件技术领域，具体为一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体，所述柜体内底部开凿有蒸发室，所述蒸发室上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管，所述蒸发室上方中部通过螺栓固定有电机，所述电机上端连接有转动轴，所述转动轴外壁等距焊接有若干固定杆。本实用新型专利技术通过电机、转动轴、固定杆和泡沫层的设置，通过开关启动电机带动转动轴旋转，使得固定杆随之转动，将半导体材料插入泡沫层中，再将泡沫层对应固定杆嵌套，使得半导体材料外壁镀膜效果更为均匀，不断增加其外壁与蒸汽接触，有利于提高半导体材料的镀膜均匀，且便于批量进行生产，减少成本，较为实用，适合广泛推广与使用。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体元件蒸发镀膜装置
本技术涉及半导体元件
，具体为一种半导体元件蒸发镀膜装置。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。现有专利(公告号为CN201720832416.9)及半导体元件蒸发镀膜装置，此专利解决长方体状元件的两个相邻侧离蒸发源的距离是不等的，这就导致最后相邻两个侧面镀膜的厚度不等，但是其蒸发镀膜效率较低，且难以批量进行镀膜。因此，我们提出一种半导体元件蒸发镀膜装置，提高蒸发镀膜的效率，同时便于大量多批次进行镀膜。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体元件蒸发镀膜装置，解决了
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体，所述柜体内底部开凿有蒸发室，所述蒸发室上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管，所述蒸发室上方中部通过螺栓固定有电机，所述电机上端连接有转动轴，所述转动轴外壁等距焊接有若干固定杆。作为本技术的一种优选实施方式，所述柜体内右侧安装有框架，所述框架内等距嵌套有电热灯。作为本技术的一种优选实施方式，所述蒸发室内底部一体成型有电热管。作为本技术的一种优选实施方式，所述固定杆末端嵌套有泡沫层。作为本技术的一种优选实施方式，所述柜体前端铰接有柜门，所述柜体右端顶部开凿有散热孔。与现有技术相比，本技术的有益效果如下：>1.本技术的半导体元件蒸发镀膜装置，通过电机、转动轴、固定杆和泡沫层的设置，通过开关启动电机带动转动轴旋转，使得固定杆随之转动，将半导体材料插入泡沫层中，再将泡沫层对应固定杆嵌套，使得半导体材料外壁镀膜效果更为均匀，不断增加其外壁与蒸汽接触，有利于提高半导体材料的镀膜均匀，且便于批量进行生产，减少成本。2.本技术的半导体元件蒸发镀膜装置，通过电热灯的设置，通过开关打开电热灯，使得其产生高光和热量，由于半导体材料温度上升较快，使得半导体外壁蒸汽水快速蒸发，有效地减少镀膜时间，提高蒸发镀膜的效率。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术半导体元件蒸发镀膜装置的整体结构示意图；图2为本技术半导体元件蒸发镀膜装置的结构剖面图。图中：1、柜门；2、柜体；3、散热孔；4、电热管；5、蒸发管；6、电机；7、转动轴；8、泡沫层；9、固定杆；10、框架；11、电热灯；12、蒸发室。具体实施方式为使本技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本技术。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本技术中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体2，其特征在于：所述柜体2内底部开凿有蒸发室12，所述蒸发室12上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管5，所述蒸发室12上方中部通过螺栓固定有电机6，所述电机6上端连接有转动轴7，所述转动轴7外壁等距焊接有若干固定杆9。本实施例中请参阅图1和图2通过开关启动电机6带动转动轴7旋转，使得固定杆9随之转动，将半导体材料插入泡沫层8中，再将泡沫层8对应固定杆9嵌套，使得半导体材料外壁镀膜效果更为均匀，不断增加其外壁与蒸汽接触，有利于提高半导体材料的镀膜均匀。其中，所述柜体2内右侧安装有框架10，所述框架10内等距嵌套有电热灯11。本实施例中请参阅图2通过电热灯11通过通电时辐射红外波，辐射波长由外壳管子材质决定即产生不同的加热特性,而且功率可以很大,用于工业加热的各个领域，现有技术不在此处过多赘述，通过开关打开电热灯11，使得其产生高光和热量，由于半导体材料温度上升较快，使得半导体外壁蒸汽水快速蒸发，有效地减少镀膜时间。其中，所述蒸发室12内底部一体成型有电热管4。本实施例中请参阅图2通过电热管4内有电热丝，电流通过电热丝做功产生热量，对蒸发室12内液体进行加热。其中，所述固定杆9末端嵌套有泡沫层8。本实施例中请参阅图2通过泡沫层8为阻燃泡棉，便于半导体材料插入泡沫层8进行固定。其中，所述柜体2前端铰接有柜门1，所述柜体2右端顶部开凿有散热孔3。本实施例中请参阅图1通过散热孔3可以避免柜体2内压力过大，同时蒸发室12上端左侧开凿有加料管。需要说明的是，本技术为一种半导体元件蒸发镀膜装置，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，在本装置空闲处，将上述中所有电器件，其指代动力元件、电器件以及适配的监控电脑和电源通过导线进行连接，具体连接手段，应参考下述工作原理中，各电器件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明,在一种用于浸渍胶膜纸生产的干燥装置使用的时候，包括柜门1、柜体2、散热孔3、电热管4、蒸发管5、电机6、转动轴7、泡沫层8、固定杆9、框架10、电热灯11和蒸发室12部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的的部件，其结构和原理都为本领域技术人员可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，工作时通过电热管4内有电热丝，电流通过电热丝做功产生热量，对蒸发室12内液体进行加热，使得蒸汽通过蒸发管5向上流动，再通过开关启动电机6带动转动轴7旋转，使得固定杆9随之转动，将半导体材料插入泡沫层8中，再将泡沫层8对应固定杆9嵌套，使得半导体材料外壁镀膜效果更为均匀，通过开关打开电热灯11，使得其产生高光和热量，由于半导体材料温度上升较快，使得半导体外壁蒸汽水快速蒸发，关闭机器后等待一定时间打开柜门1将导体材料取出。以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点，对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体(2)，其特征在于：所述柜体(2)内底部开凿有蒸发室(12)，所述蒸发室(12)上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管(5)，所述蒸发室(12)上方中部通过螺栓固定有电机(6)，所述电机(6)上端连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)外壁等距焊接有若干固定杆(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体元件蒸发镀膜装置，包括柜体(2)，其特征在于：所述柜体(2)内底部开凿有蒸发室(12)，所述蒸发室(12)上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管(5)，所述蒸发室(12)上方中部通过螺栓固定有电机(6)，所述电机(6)上端连接有转动轴(7)，所述转动轴(7)外壁等距焊接有若干固定杆(9)。


2.根据权利要求1所述的一种半导体元件蒸发镀膜装置，其特征在于：所述柜体(2)内右侧安装有框架(10)，所述框架(10)内等距嵌...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏进，
申请(专利权)人：扬州国润半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32