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本实用新型涉及半导体元件技术领域,具体为一种半导体元件蒸发镀膜装置,包括柜体,所述柜体内底部开凿有蒸发室,所述蒸发室上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管,所述蒸发室上方中部通过螺栓固定有电机,所述电机上端连接有转动轴,所述转动轴外壁等距焊接有若干...该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及半导体元件技术领域,具体为一种半导体元件蒸发镀膜装置,包括柜体,所述柜体内底部开凿有蒸发室,所述蒸发室上端均匀开凿有圆柱中空状蒸发管,所述蒸发室上方中部通过螺栓固定有电机,所述电机上端连接有转动轴,所述转动轴外壁等距焊接有若干...