一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及半导体元件镀膜技术领域，公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸，气缸的活塞杆下端面通过轴承固定连接有夹板，位于所述镀膜箱底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机，伺服电机的传动轴杆上端面固定连接有托板，位于所述镀膜箱内腔左侧固定连接有电阻加热板。本实用新型专利技术通过根据半导体元件的高度打开相应宽度间距的排热嘴上的阀门，然后对半导体元件的一面进行镀膜；并且电阻加热板发热对半导体元件的镀膜进行烘干，抽风机工作将镀膜箱内的废气和水汽抽吸到净化箱内，并经过活性炭填料进行过滤净化空气并排出。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置
本技术涉及半导体元件镀膜
，具体为一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置。
技术介绍
目前，半导体的镀膜方式包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀膜等，其中，蒸发镀膜是指通过加热蒸发镀膜物质，使其沉积在半导体元件的表面，形成一层保护膜。蒸发镀膜中膜的厚度决定于蒸发速率、镀膜时间，以及蒸发源与半导体元件之间的距离等。因此，为了保证镀膜的均匀性，必须地严格控制好上述影响因素。经检索公开(公告)号CN206872930U公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括用于固定长方体状半导体元件的固定架，固定架可转动，所述固定架外围设有L型的滑轨，滑轨包括相互垂直连接的横向滑轨和竖向滑轨，横向滑轨与固定架之间的距离和竖向滑轨与固定架之间的距离之差等于长方体状半导体元件长宽之差的二分之一；滑轨上滑动设置有若干个坩埚，每个坩埚内均固定设置有蒸发源；还包括L型的固定杆，固定杆沿滑轨设置，且固定杆位于滑轨远离固定架的一侧，固定杆上滑动设有若干个加热源。虽然该技术解决了现有镀膜装置对于长方体状半导体元件镀膜时镀膜厚度不均本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸(17)，气缸(17)的活塞杆下端面通过轴承(20)固定连接有夹板(18)，位于所述镀膜箱(1)底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机(9)，伺服电机(9)的传动轴杆上端面固定连接有托板(10)，位于所述镀膜箱(1)内腔左侧固定连接有电阻加热板(8)，位于所述镀膜箱(1)外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆(12)，电动推杆(12)右端与连接杆(13)下端固定连接，连接杆(13)上端部与主输气管(14)右端部固定连接，主输气管(14)左端部与分输气管(11)固定连接，分输...

【技术特征摘要】
1.一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱(1)，其特征在于：所述镀膜箱(1)顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸(17)，气缸(17)的活塞杆下端面通过轴承(20)固定连接有夹板(18)，位于所述镀膜箱(1)底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机(9)，伺服电机(9)的传动轴杆上端面固定连接有托板(10)，位于所述镀膜箱(1)内腔左侧固定连接有电阻加热板(8)，位于所述镀膜箱(1)外部中间位置水平向右固定连接有电动推杆(12)，电动推杆(12)右端与连接杆(13)下端固定连接，连接杆(13)上端部与主输气管(14)右端部固定连接，主输气管(14)左端部与分输气管(11)固定连接，分输气管(11)左侧壁水平向左固定连通有多根等距分布的排热嘴(16)，排热嘴(16)上固定安装有阀门(15)；
所述镀膜箱(1)左侧上部固定连通有抽风机(2)，抽风机(2)的排风管(3)尾端与净化箱(5)顶部右侧固定连通...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏进，
申请(专利权)人：扬州国润半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32