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本实用新型涉及半导体元件镀膜技术领域，公开了一种旋转局部加热式半导体元件镀膜装置，包括镀膜箱，所述镀膜箱顶部中间位置竖直向下固定连接有气缸，气缸的活塞杆下端面通过轴承固定连接有夹板，位于所述镀膜箱底部中间位置竖直向上固定连接有伺服电机，伺服...
该专利属于扬州国润半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州国润半导体科技有限公司授权不得商用。

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