一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座，所述旋转机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板的上表面中间位置安装有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的另一端固定设置在所述第二支撑板的下表面，所述第一支撑板的上表面焊接有支杆，所述支杆的顶部焊接有滑块，所述第二支撑板的下表面开设有环形滑槽，所述滑块滑动设置在所述环形滑槽内，所述固定机构包括固定板。本实用新型专利技术通过固定机构对坩埚本体进行固定，通过旋转机构能够对坩埚本体进行旋转，通过升降机构能够对坩埚本体进行升降，从而方便对坩埚本体进行操作。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构
本技术属于单晶炉坩埚
，具体涉及一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构。
技术介绍
单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时，要将多晶料置于坩埚中，经过高温加热使其熔化，然后籽晶由顶部降下至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的多晶硅在籽晶周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。如授权公告号为CN202030857U所公开的直拉单晶炉用组合坩埚，其虽然实现了坩埚的强度高，使用寿命长，并且其加工简单，节省材料和成本，但是并未解决现有坩埚在使用时还存在的问题：不方便对坩埚进行旋转，不方便对坩埚进行升降，从而不方便对坩埚进行操作，为此我们提出一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座(1)，其特征在于：所述旋转机构包括第一支撑板(2)和第二支撑板(3)，所述第一支撑板(2)的上表面中间位置安装有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出端通过联轴器传动连接有转轴(5)，所述转轴(5)的另一端固定设置在所述第二支撑板(3)的下表面，所述第一支撑板(2)的上表面焊接有支杆(6)，所述支杆(6)的顶部焊接有滑块(7)，所述第二支撑板(3)的下表面开设有环形滑槽(8)，所述滑块(7)滑动设置在所述环形滑槽(8)内；/n所述固定机构包括固定板(9)，所述固定板(9)对称焊接在所述第二支撑板(3)的两端，...

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座(1)，其特征在于：所述旋转机构包括第一支撑板(2)和第二支撑板(3)，所述第一支撑板(2)的上表面中间位置安装有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出端通过联轴器传动连接有转轴(5)，所述转轴(5)的另一端固定设置在所述第二支撑板(3)的下表面，所述第一支撑板(2)的上表面焊接有支杆(6)，所述支杆(6)的顶部焊接有滑块(7)，所述第二支撑板(3)的下表面开设有环形滑槽(8)，所述滑块(7)滑动设置在所述环形滑槽(8)内；
所述固定机构包括固定板(9)，所述固定板(9)对称焊接在所述第二支撑板(3)的两端，两端所述固定板(9)上螺纹连接有螺杆(10)，所述螺杆(10)的一端转动连接有夹紧板(11)，所述螺杆(10)的另一端焊接有旋钮(12)，所述旋钮(12)设置在所述固定板(9)的外侧，所述夹紧板(11)的内侧设置有坩埚本体(13)；
所述升降机构包括承重板(14)，所述承重板(14)焊接在所述固定底座(1)上表面的端部，所述承重板(14)的顶部焊接有顶板(15)，所述顶板(15)的上表面安装有第二电机(16)，所述第二电机(16)的输出端通过联轴器传动连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)的两端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志磊，张燕玲，邢德春，王志卿，
申请(专利权)人：晶创铭盛电子科技香河有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13