一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座，所述旋转机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板的上表面中间位置安装有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的另一端固定设置在所述第二支撑板的下表面，所述第一支撑板的上表面焊接有支杆，所述支杆的顶部焊接有滑块，所述第二支撑板的下表面开设有环形滑槽，所述滑块滑动设置在所述环形滑槽内，所述固定机构包括固定板。本实用新型专利技术通过固定机构对坩埚本体进行固定，通过旋转机构能够对坩埚本体进行旋转，通过升降机构能够对坩埚本体进行升降，从而方便对坩埚本体进行操作。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构
本技术属于单晶炉坩埚
，具体涉及一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构。
技术介绍
单晶硅作为一种半导体材料，一般用于制造集成电路和其他电子元件，目前单晶硅的生长技术有两种：区熔法和直拉法，其中直拉法是目前普遍采用的方法。在直拉法制造单晶硅时，要将多晶料置于坩埚中，经过高温加热使其熔化，然后籽晶由顶部降下至熔化的多晶硅中，通过控制液面的温度，使熔化的多晶硅在籽晶周围重新结晶，生成排列整齐的单晶硅棒。如授权公告号为CN202030857U所公开的直拉单晶炉用组合坩埚，其虽然实现了坩埚的强度高，使用寿命长，并且其加工简单，节省材料和成本，但是并未解决现有坩埚在使用时还存在的问题：不方便对坩埚进行旋转，不方便对坩埚进行升降，从而不方便对坩埚进行操作，为此我们提出一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座，所述旋转机构包括第一支撑板和第二支撑板，所述第一支撑板的上表面中间位置安装有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的另一端固定设置在所述第二支撑板的下表面，所述第一支撑板的上表面焊接有支杆，所述支杆的顶部焊接有滑块，所述第二支撑板的下表面开设有环形滑槽，所述滑块滑动设置在所述环形滑槽内；所述固定机构包括固定板，所述固定板对称焊接在所述第二支撑板的两端，两端所述固定板上螺纹连接有螺杆，所述螺杆的一端转动连接有夹紧板，所述螺杆的另一端焊接有旋钮，所述旋钮设置在所述固定板的外侧，所述夹紧板的内侧设置有坩埚本体；所述升降机构包括承重板，所述承重板焊接在所述固定底座上表面的端部，所述承重板的顶部焊接有顶板，所述顶板的上表面安装有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器传动连接有丝杆，所述丝杆的两端分别与所述顶板和所述固定底座转动连接，所述丝杆的圆周上通过传动螺母滑动连接有滑板，所述滑板的一端与所述第一支撑板的一端焊接。优选的，所述支杆设置有四组，四组所述支杆分别设置在所述第一支撑板的四周。优选的，所述滑块设置为球形，且所述环形滑槽的内表面设置为弧面。优选的，所述螺杆的两侧位于所述夹紧板上对称焊接有限位杆，所述限位杆的另一端贯穿所述固定板且与所述固定板滑动连接。优选的，所述夹紧板设置为弧形板，所述夹紧板的表面弧度与所述坩埚本体外表面的弧度相同。优选的，所述第一电机设置为伺服电机，所述第二电机设置为步进电机。与现有技术相比，本技术的有益效果是：(1)本技术通过设置固定机构，在固定坩埚本体时，首先将坩埚本体放置第二支撑板上，然后通过转动旋钮，使旋钮带动螺杆转动，螺杆带动夹紧板移动，使夹紧板对坩埚本体的表面进行夹紧，从而增加了坩埚本体的稳定性。(2)本技术通过设置旋转机构，在坩埚本体固定后，通过第一电机带动转轴转动，转轴带动第二支撑板转动，使滑块在环形滑槽内滑动，从而方便使坩埚本体进行旋转。(3)本技术通过设置升降机构，通过第二电机带动丝杆转动，使滑板在丝杆上滑动，滑板移动带动第一支撑板进行升降，从而对坩埚本体进行升降，方便对坩埚本体进行操作。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术图1中A处放大图；图3为本技术图1中夹紧板部分的俯视示意图；图中：1、固定底座；2、第一支撑板；3、第二支撑板；4、第一电机；5、转轴；6、支杆；7、滑块；8、环形滑槽；9、固定板；10、螺杆；11、夹紧板；12、旋钮；13、坩埚本体；14、承重板；15、顶板；16、第二电机；17、丝杆；18、滑板；19、限位杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-图3，本技术提供一种技术方案：一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座1，旋转机构包括第一支撑板2和第二支撑板3，第一支撑板2的上表面中间位置安装有第一电机4，第一电机4的输出端通过联轴器传动连接有转轴5，转轴5的另一端固定设置在第二支撑板3的下表面，第一支撑板2的上表面焊接有支杆6，支杆6的顶部焊接有滑块7，第二支撑板3的下表面开设有环形滑槽8，滑块7滑动设置在环形滑槽8内，在坩埚本体13固定后，通过第一电机4带动转轴5转动，转轴5带动第二支撑板3转动，使滑块7在环形滑槽8内滑动，从而方便使坩埚本体13进行旋转；固定机构包括固定板9，固定板9对称焊接在第二支撑板3的两端，两端固定板9上螺纹连接有螺杆10，螺杆10的一端转动连接有夹紧板11，螺杆10的另一端焊接有旋钮12，旋钮12设置在固定板9的外侧，夹紧板11的内侧设置有坩埚本体13,在固定坩埚本体13时，首先将坩埚本体13放置第二支撑板3上，然后通过转动旋钮12，使旋钮12带动螺杆10转动，螺杆10带动夹紧板11移动，使夹紧板11对坩埚本体13的表面进行夹紧，从而增加了坩埚本体13的稳定性；升降机构包括承重板14，承重板14焊接在固定底座1上表面的端部，承重板14的顶部焊接有顶板15，顶板15的上表面安装有第二电机16，第二电机16的输出端通过联轴器传动连接有丝杆17，丝杆17的两端分别与顶板15和固定底座1转动连接，丝杆17的圆周上通过传动螺母滑动连接有滑板18，滑板18的一端与第一支撑板2的一端焊接,通过第二电机16带动丝杆17转动，使滑板18在丝杆17上滑动，滑板18移动带动第一支撑板2进行升降，从而对坩埚本体13进行升降。为了增加第二支撑板3在转动时的稳定性，本实施例中，优选的，支杆6设置有四组，四组支杆6分别设置在第一支撑板2的四周。为了方便滑块7滑动，本实施例中，优选的，滑块7设置为球形，且环形滑槽8的内表面设置为弧面。为了防止在移动夹紧板11时，夹紧板11发生转动，本实施例中，优选的，螺杆10的两侧位于夹紧板11上对称焊接有限位杆19，限位杆19的另一端贯穿固定板9且与固定板9滑动连接。为了方便夹紧板11对坩埚本体13进行夹紧，本实施例中，优选的，夹紧板11设置为弧形板，夹紧板11的表面弧度与坩埚本体13外表面的弧度相同。为了方便对第一电机4和第二电机16进行操作，本实施例中，优选的，第一电机4设置为伺服电机，第二电机16设置为步进电机。本技术的工作原理：本技术通过设置固定机构，在固定坩埚本体13时，首先将坩埚本体13放置第二支撑板3上，然后通过转动旋钮12，使旋钮12带动螺杆10本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座(1)，其特征在于：所述旋转机构包括第一支撑板(2)和第二支撑板(3)，所述第一支撑板(2)的上表面中间位置安装有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出端通过联轴器传动连接有转轴(5)，所述转轴(5)的另一端固定设置在所述第二支撑板(3)的下表面，所述第一支撑板(2)的上表面焊接有支杆(6)，所述支杆(6)的顶部焊接有滑块(7)，所述第二支撑板(3)的下表面开设有环形滑槽(8)，所述滑块(7)滑动设置在所述环形滑槽(8)内；/n所述固定机构包括固定板(9)，所述固定板(9)对称焊接在所述第二支撑板(3)的两端，两端所述固定板(9)上螺纹连接有螺杆(10)，所述螺杆(10)的一端转动连接有夹紧板(11)，所述螺杆(10)的另一端焊接有旋钮(12)，所述旋钮(12)设置在所述固定板(9)的外侧，所述夹紧板(11)的内侧设置有坩埚本体(13)；/n所述升降机构包括承重板(14)，所述承重板(14)焊接在所述固定底座(1)上表面的端部，所述承重板(14)的顶部焊接有顶板(15)，所述顶板(15)的上表面安装有第二电机(16)，所述第二电机(16)的输出端通过联轴器传动连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)的两端分别与所述顶板(15)和所述固定底座(1)转动连接，所述丝杆(17)的圆周上通过传动螺母滑动连接有滑板(18)，所述滑板(18)的一端与所述第一支撑板(2)的一端焊接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉新大型坩埚旋转、升降机构，包括旋转机构、升降机构、固定机构和固定底座(1)，其特征在于：所述旋转机构包括第一支撑板(2)和第二支撑板(3)，所述第一支撑板(2)的上表面中间位置安装有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出端通过联轴器传动连接有转轴(5)，所述转轴(5)的另一端固定设置在所述第二支撑板(3)的下表面，所述第一支撑板(2)的上表面焊接有支杆(6)，所述支杆(6)的顶部焊接有滑块(7)，所述第二支撑板(3)的下表面开设有环形滑槽(8)，所述滑块(7)滑动设置在所述环形滑槽(8)内；
所述固定机构包括固定板(9)，所述固定板(9)对称焊接在所述第二支撑板(3)的两端，两端所述固定板(9)上螺纹连接有螺杆(10)，所述螺杆(10)的一端转动连接有夹紧板(11)，所述螺杆(10)的另一端焊接有旋钮(12)，所述旋钮(12)设置在所述固定板(9)的外侧，所述夹紧板(11)的内侧设置有坩埚本体(13)；
所述升降机构包括承重板(14)，所述承重板(14)焊接在所述固定底座(1)上表面的端部，所述承重板(14)的顶部焊接有顶板(15)，所述顶板(15)的上表面安装有第二电机(16)，所述第二电机(16)的输出端通过联轴器传动连接有丝杆(17)，所述丝杆(17)的两端分...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志磊，张燕玲，邢德春，王志卿，
申请(专利权)人：晶创铭盛电子科技香河有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13