一种单晶炉腔体排气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉腔体排气装置，涉及单晶炉领域，包括炉体，所述炉体的顶侧装配有炉道；所述炉体的底侧开设有位于其与炉盘之间的侧槽，所述炉体内侧的底侧边缘装配有弧座，所述弧座上开设有十五组间距相同的排气孔，所述炉体的外侧装配有罩座，且罩座的外壁上开设有两组位置相对的散气槽；该单晶炉腔体排气装置，通过炉体底侧各组件的设置，能够通过弧座上各组排气孔的设置来增加排放量，同时排出的热气会暂存在罩座与炉体底侧的暂存槽中，由内散热片、罩座及外散热片对其进行散热，保证散热效果，同时气体会沿着两组散气槽被排放至相应管体中，进而达到高效排气的效果，解决现有装置难以根据需求进行高效排气的散热的问题。的问题。的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉腔体排气装置


[0001]本技术涉及单晶炉
，具体为一种单晶炉腔体排气装置。

技术介绍

[0002]单晶炉主要是工作在惰性气体环境中，采用石墨加热器将多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉常设置有排气装置，目前现有大多设备在进行使用时，由于排气口内部易进入灰尘，易导致排气口堵塞的情况，使其设备无法正常进行排气，降低了设备整体的防护性，对此需进行改进。
[0003]经检索，专利申请号为CN202122707559.6的申请书中，公开了一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体和以及设置在炉体表面的排气管，所述排气管的表面设置有防护装置，所述防护装置包括固定环，所述固定环套在排气管的外部，并与排气管固定连接，所述固定环活动连接有盖子，所述固定环上连接有用于限制盖子翻转的限位部件。上述组件通过设置相应防护机构来避免灰尘进入炉体中，但是仍旧为单一排孔排气，排气效率较低，同时为设置相应散热组件，所输出气体的温度较高。
[0004]因此，我们提出了一种单晶炉腔体排气装置。

技术实现思路

[0005]针对现有技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉腔体排气装置，包括炉体(1)，所述炉体(1)的顶侧装配有炉道(2)，所述炉体(1)的底侧设置有炉盘(5)，且炉体(1)的内侧装配有相应拉晶组件，所述拉晶组件包括加热器；其特征在于：所述炉体(1)的底侧开设有位于其与炉盘(5)之间的侧槽(8)，所述炉体(1)内侧的底侧边缘装配有弧座(6)，所述弧座(6)上开设有十五组间距相同的排气孔(7)，所述炉体(1)的外侧装配有罩座(3)，且罩座(3)的外壁上开设有两组位置相对的散气槽(9)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述弧座(6)为弧状内圈板，且弧座(6)与炉体(1)底侧之间设置有相应暂存槽。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉腔体排气装置，其特征在于：所述罩座(3)中开设有呈环状...

【专利技术属性】
技术研发人员：邢德春，张燕玲，王志磊，
申请(专利权)人：晶创铭盛电子科技香河有限公司，
类型：新型
国别省市：