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本实用新型公开了一种单晶炉腔体排气装置，涉及单晶炉领域，包括炉体，所述炉体的顶侧装配有炉道；所述炉体的底侧开设有位于其与炉盘之间的侧槽，所述炉体内侧的底侧边缘装配有弧座，所述弧座上开设有十五组间距相同的排气孔，所述炉体的外侧装配有罩座，且罩...
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