一种PECVD设备的升降机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种PECVD设备的升降机构，包括驱动单元、升降单元和座体单元；驱动单元包括电机、丝杠和螺纹连接在丝杠上的螺母座；升降单元包括固定在螺母座上的升降座安装板、平行于升降座安装板的背板和两个转接板；背板与升降座安装板位于丝杠的两侧，改善升降单元前后的重心位置，减少重力产生的力矩；两个转接板连接在背板与升降座安装板之间，且两个转接板位于丝杠的两侧，使升降单元整体左右对称，有利于左右受力均匀，保证升降机构纵向升降运行平稳；座体单元包括底板和垂直固定在底板上的立板；底板用于安装电机；立板位于背板与丝杠之间；立板上设置有平行于丝杠的直线导轨；直线导轨与背板通过滑块可滑动连接。

【技术实现步骤摘要】
一种PECVD设备的升降机构
本技术属于半导体加工设备
，尤其涉及一种PECVD设备的升降机构。
技术介绍
等离子体增强化学气相沉积（PECVD,PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition）工艺中，PECVD设备利用射频电源为反应源提供能量产生等离子体，反应源运动衬底表面成核，核继续生长成薄膜。在淀积薄膜的时候，不同衬底材料对淀积的条件要求不同。为了实现对多种材料的镀膜，要求上下电极之间的距离根据工艺的需要是可以调整的，需要升降机构带动电极做纵向升降运动。现有升降机构存在以下问题：升降稳定性差，安装和调试的难度大；运行精度低，安全隐患大。
技术实现思路
为解决上述问题，本技术提出一种PECVD设备的升降机构，升降运行稳定性高，定位精度高，结构简单。技术方案：本技术提出一种PECVD设备的升降机构，包括驱动单元、升降单元和座体单元；所述驱动单元包括电机、丝杠和螺纹连接在丝杠上的螺母座；所述电机的转轴与丝杠连接；所述电机驱动丝杠转动时，螺母座沿丝杠做直线运动；所述升降单元本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PECVD设备的升降机构，其特征在于：包括驱动单元、升降单元和座体单元；/n所述驱动单元包括电机（101）、丝杠（102）和螺纹连接在丝杠（102）上的螺母座（103）；所述电机（101）的转轴与丝杠（102）连接；所述电机（101）驱动丝杠（102）转动时，螺母座（103）沿丝杠（102）做直线运动；/n所述升降单元包括/n固定在螺母座（103）上的升降座安装板（201）；所述升降座安装板（201）平行于丝杠（102）；/n背板（202），所述背板（202）平行于升降座安装板（201），且背板（202）与升降座安装板（201）位于丝杠（102）的前后两侧；/n两个转接板（204），两...

【技术特征摘要】
1.一种PECVD设备的升降机构，其特征在于：包括驱动单元、升降单元和座体单元；
所述驱动单元包括电机（101）、丝杠（102）和螺纹连接在丝杠（102）上的螺母座（103）；所述电机（101）的转轴与丝杠（102）连接；所述电机（101）驱动丝杠（102）转动时，螺母座（103）沿丝杠（102）做直线运动；
所述升降单元包括
固定在螺母座（103）上的升降座安装板（201）；所述升降座安装板（201）平行于丝杠（102）；
背板（202），所述背板（202）平行于升降座安装板（201），且背板（202）与升降座安装板（201）位于丝杠（102）的前后两侧；
两个转接板（204），两个所述转接板（204）连接在背板（202）与升降座安装板（201）之间，且两个转接板（204）位于丝杠（102）的左右两侧；
所述座体单元包括底板（301）和垂直固定在底板（301）上的立板（302）；所述底板（301）用于安装电机（101）；所述立板（302）位于背板（202）与丝杠（102）之间；所述立板（302）上设置有平行于丝杠（102）的直线导轨（303）；所述直线导轨（303）上设置有滑块（203）；所述滑块（203）固定连接在背板（202）上。


2.根据权利要求1所述的PECVD设备的升降机构，其特征在于：所述立板（302）设置有上限位块（304）和下限位块（305）；所述上限...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁正，侯永刚，张军，李娜，郭颂，李圆晨，高阔，吴志浩，胡冬冬，许开东，
申请(专利权)人：江苏鲁汶仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32