执行器制造技术

本发明专利技术的执行器具备：基座（１）；可以相对于基座（１）变位的可动部（７）；以可动部（７）相对于基座（１）可以变位的方式支撑可动部（７）的弹性支撑部（１３ａ～１３ｃ）；以及相对于基座（１）变位可动部（７）的多个驱动部（６ａ～６ｃ），每个多个驱动部（６ａ～６ｃ）具备在向可动部（７）传递驱动力时，与可动部接触的驱动力传递部（１０ａ～１０ｃ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及可以倾转和垂直变位的执行器。本专利技术的执行器，被作为例如，在可动部具备光反射面的微反射镜装置使用。
技术介绍
采用MEMS(Micro Electro Mechanical System)技术，制造各种微执行器，并期待微执行器向光学，高频波电路，生物工程技术等各种领域的应用。例如，在补偿光学(Adaptive Optics)领域中，正在开发用于控制光的波面的微反射镜阵列。另外，例如，用于作为反射光束，使其入射到光电气元件和光纤中的机械的光开关使用的微反射镜阵列也在开发。这些微反射镜阵列具备多个执行器。每个执行器具备的反射镜，为了使入射的光反射到任意方向上，希望进行2轴倾转。参照图11，对专利文献1中公开的以往的执行器进行说明。图11表示具备反射镜，起到作为反射镜驱动装置功能的执行器200。光反射面102被设置在球状反射镜101的一部分上。框架103具备的4根支架104(1根图中没有表示)，保持球状反射镜101。在每个支架104的、与球状反射镜101接触部形成球面凹痕(图中没有表示)。通过支架104与球状反射镜101嵌合，保持球状反射镜101，球状反射镜101可以分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种执行器，具备：基座；可动部，其相对于上述基座可变位；弹性支撑部，其以上述可动部相对于上述基座可以变位的方式支撑上述可动部；以及多个驱动部，其使上述可动部相对于上述基座变位，上述多个驱动部的每一个分 别具备驱动力传递部，该驱动力传递部在向上述可动部传递驱动力时，与上述可动部接触。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：梶野修，
申请(专利权)人：松下电器产业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]