用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于使物体（２）以二自由度倾斜的微机电装置（１’），其包括承载元件（３）和隔膜（４），所述物体（２）通过隔膜（４）与承载元件（３）连接，其中物体（２）和承载元件（３）分别包括至少一个电极（５，６）。物体（２）通过物体（２）的至少一个电极（５）与承载元件（３）的至少一个电极（６）之间的静电力（７）被倾斜，电压从电压源（Ｖ１，Ｖ２）施加到电极（５，６）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于使物体以二自由度倾斜的微机电装置，并涉及包 括用于使物体倾斜的微机电装置的光学扫描装置。
技术介绍
诸如扫描仪、用于光网络的光学耦合器、投影显示器等的光学装置往 往需要将具体为偏转镜的光学元件分别驱动或倾斜的装置，如用于将光束反射偏转的微机电系统(MEMS)。目前基本上有两种类型的倾斜偏转镜装置，即谐振型和开环控制型。 谐振型偏转镜装置用于诸如显示器等的扫描设备。反射镜在悬起状态可作为弹簧上的质点，导致机械自然频率。由于这些反射镜被弹性悬起，其阻尼系数通常较低。这些系统在共振频率下工作性能很好，能够以低驱动功率输入提供大偏转幅度。在开环控制偏转镜装置中，偏转角外部地被测量、或者完全不加测量，产生稳态或者最大偏转角的两个受控位置。这种系统既不接收也不改变位置信息。已有二自由度偏转镜装置采用两个独立的悬起系统，限制了偏转(角 向刚度太高)并控制带宽(质量太大)。目前悬起装置方案仅能满足单自由度受控偏转镜或低带宽的二自由度偏转镜。Trey Roessig等人在Analog Dialogue期刊2002年七月至八月第36 巻第4期"光开关应用中带有集成位置传感电子器件本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于使物体（２，２ａ）以二自由度倾斜的微机电装置（１，１’，１″），所述微机电装置包括承载元件（３，３ａ）和隔膜（４，４ａ），物体（２，２ａ）通过隔膜（４，４ａ）与承载元件（３，３ａ）连接，其中物体（２，２ａ）和承载元件（３，３ａ）分别包括至少一个电极（５，６，６ａ），且物体（２，２ａ）通过物体（２，２ａ）的至少一个电极（５）与承载元件（３，３ａ）的至少一个电极（６，６ａ）之间的静电力（７）被倾斜，电压从电压源（Ｖ）施加到电极（５，６，６ａ）。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：MT梅韦斯，D范利洛普，RJ阿斯杰斯，GLM扬森，ECE范格鲁斯温，DM布劳沃，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[]