温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于使物体（２）以二自由度倾斜的微机电装置（１’），其包括承载元件（３）和隔膜（４），所述物体（２）通过隔膜（４）与承载元件（３）连接，其中物体（２）和承载元件（３）分别包括至少一个电极（５，６）。物体（２）通过物体（２）的至...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明涉及一种用于使物体（２）以二自由度倾斜的微机电装置（１’），其包括承载元件（３）和隔膜（４），所述物体（２）通过隔膜（４）与承载元件（３）连接，其中物体（２）和承载元件（３）分别包括至少一个电极（５，６）。物体（２）通过物体（２）的至...