相对位置可调谐的二维通带通道滤光片制造技术

本发明专利技术提供了一种能够在一个双通道滤光片上独立调整两个通道相对位置的设计方法，采用了基于Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ标准具的双对称结构。与传统的窄带滤光片不同，它通过几个中间层的厚度的连续变化来实现对两个通道的位置进行独立的连续的调整，克服了通道位置调整所引起的位置相干现象。本发明专利技术介绍了滤光片的设计思路和具体的结构设计，以及在此设计思想下所计算出的双通道带通滤光片的光谱特性等。所设计的滤光片可应用于光学探测仪器、空间技术等领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术为一种光学滤光片器件设计方法，具体涉及一种二维双通道滤光片的设计。在光学仪器、天文、遥感等方面有应用前景。
技术介绍
传统的多通道带通滤光片一般有以下两种1、基于Fabry-Perot标准具的多通道带通滤光片最典型的多通道带通滤光片为Fabry---Perot标准具结构。该滤光片为一对称结构，两端为反射层，中间为间隔层，经过反射层的多次反射，通过恰当选取间隔层的物理厚度，该结构可以得到具有多通道透过特性的带通滤光片，但由于所有通道的位置都与这一个间隔层的厚度有关系，这些通道的位置变化是相干的。因此，无法用此结构设计出通道相对位置可调整的滤光片。2、Rugate类型的多通道带通滤光片从设计的角度来讲，也许有着连续折射率结构的Rugate类型的多通道带通滤光片是最吸引人的，因为Rugate滤光片具有完美的数学变换形式。但是由于该类型的多通道带通滤光片所采用的介质要求为折射率渐变材料，因此尽管在理论上能够进行设计，但在镀制技术上，要比多层介质多通道带通滤光片困难得多。1987年S.John和E.Yablonovitch等人分别提出了光子晶体的概念。由于一维光子晶体在结构上类似本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通道相对位置可调谐的二维通带通道滤光片，其特征在于：薄膜的硬膜系材料为ＴｉＯ↓［２］和ＳｉＯ↓［２］组合，组成膜系的结构为以Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ结构为基础的双对称结构滤光片膜层，结构为：（ＨＬ）↑［２］ｃＨ（ＬＨ）↑［２］Ｌ（ ＨＬ）↑［２］ｃＨ（ＬＨ）↑［２］ｄＬ（ＨＬ）↑［２］ｃＨ（ＬＨ）↑［２］Ｌ（ＨＬ）↑［２］ｃＨ（ＬＨ）↑［２］１／２ｃＬ。其中通过刻蚀或者在镀制过程中采用补偿的办法，使得ｃ层和ｄ层的厚度在两维方向上发生连续变化。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴永刚，田国勋，王占山，焦宏飞，张莉，戚同非，
申请(专利权)人：同济大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]