可调谐导模共振滤光片制造技术

技术编号:10301866 阅读:151 留言:0更新日期:2014-08-07 08:35
本实用新型专利技术提供了一种可调谐导模共振滤光片,其特征在于,具有:基底层;位于基底层上的第一电极层;位于第一电极层上的波导层;位于波导层上的第二电极层和位于第二电极层上的光栅层。其中,第一电极层和第二电极层均为柔性电极,通过第一电极层和第二电极层对波导层施加电压,改变光栅层的光栅周期,使滤光片能够调谐波长。本实用新型专利技术结构简单,峰值反射率高,可调谐波长范围宽泛,可广泛应用在光学仪器、光学探测、光学测量及生物医学等领域。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种可调谐导模共振滤光片,其特征在于,具有:基底层;位于所述基底层上的第一电极层;位于所述第一电极层上的波导层;位于所述波导层上的第二电极层;以及位于所述第二电极层上的光栅层;其中,所述第一电极层和所述第二电极层均为柔性电极,通过所述第一电极层和所述第二电极层对所述波导层施加电压,所述波导层移动并带动所述柔性电极运动,改变所述光栅层的光栅周期。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王琦张大伟李业黄元申倪争技
申请(专利权)人:上海理工大学
类型:新型
国别省市:上海;31

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