三维光子晶体和包含三维光子晶体的功能器件制造技术

技术编号:2668966 阅读:146 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
根据本发明专利技术的三维光子晶体在宽波长区域中具有完全光子带隙,并可容易地制造。周期性地堆叠了包括周期性折射率结构的多个层的三维光子晶体包括:具有设在第一矩形晶格和第二矩形晶格的晶格点处的孔的第一层;在面心矩形晶格的晶格点处具有柱状结构的第二层;具有与第一层的周期性结构相同的周期性结构、并被设在偏移位置处的第三层;以及具有与第二层的周期性结构相同的周期性结构的第四层。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及包括三维折射率周期性结构的三维光子(photonic)晶体以及包括所述三维光子晶体的功能器件,例如光波导管、光谐振器、光学过滤器以及偏光器。
技术介绍
Yablonovitch已提出这样一种概念,即,可使用小于电磁波波长的结构控制所述电磁波的透射和反射特性(Physical Review Letters,卷58,第2059页,1987)。依照该文献,可使用小于波长的周期性结构控制电磁波的透射和反射特性。具体地,当电磁波的波长减小到大约可见光的波长时,可控制可见光的透射和反射特性。这样一种结构被称为光子晶体。已提出可制造出在特定波长区域中具有100%反射率的反射镜。因此,与半导体中的能隙相对照,在其中可实现接近100%反射率的特定波长范围可称作光子带隙。另外,三维精细周期性结构可提供针对来自于任何方向的入射光的光子带隙。在下文中称之为完全光子带隙。完全光子带隙可具有各种应用(例如,减少发光器件中的自发发射)。可在更宽波长区域中获得完全光子带隙的结构可有助于延伸所述功能器件的操作波长区域。已提出了具有完全光子带隙的一些结构(例如,见美国专利No.5,335,240、美国本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维光子晶体,其中周期性地堆叠了包括周期性折射率结构的多个层,所述三组光子晶体包括:具有周期性结构的第一层,在第一层的周期性结构中,在沿层的面内方向中的第一轴的周期为A而沿层的面内方向中垂直于第一轴的第二轴的周期为B的第一矩形晶 格的晶格点处、以及设在相对于第一矩形晶格的位置沿第一轴偏移A/2并沿第二轴偏移B/4的位置处的第二矩形晶格的晶格点处设置了填充有第二介质的孔,并且除孔以外的区域填充有第一介质;具有周期性结构的第二层,在第二层的周期性结构中,在面心矩 形晶格的晶格点处设置了由第三介质构成并且沿堆叠方向具有纵向轴的柱状结构,并且除柱状结构以外的区域填充有第...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:野林和哉高木章成星光池本圣雄
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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