三维光子晶体和包括三维光子晶体的功能器件制造技术

技术编号:2668869 阅读:155 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种具有周期性折射率结构的三维光子晶体,该结构包括第一层、第二层、第三层和第四层,该第一层具有基于第一矩形晶格的周期性结构,该第一矩形晶格在平面方向上沿着第一轴的周期为A而沿着垂直于第一轴的第二轴的周期为B,该第二层具有设置在相对于第一矩形晶格的位置沿着第二轴平移+3B/8的位置上的周期性结构,该第三层具有设置在相对于在第一层中的周期性结构的位置沿着第一轴平移A/2并沿着第二轴平移B/2的位置上的周期性结构,该第四层具有设置在与第二层中的周期性结构相同的位置上的周期性结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种具有三维周期性折射率结构的三维光子晶体和包括三维光子晶体的功能器件,比如波导、谐振器、过滤器、激光器和偏振器件。
技术介绍
Yablonovitch已经提出了以具有等于或小于电磁波的波长的尺寸的结构控制该电磁波的透射和反射特性的原理(Physical ReviewLetters,Vol.58,p.2059,1987)。根据这份文献,电磁波的透射和反射特性可以通过具有等于或小于该波长的周期的周期性结构控制。这种结构被称为光子晶体(photonic crystal)。已经建议可以用光子晶体实现在特定波长范围中具有100%的反射率的反射镜。因此,按半导体的能隙类推,可以实现100%的反射率的特定波长范围被称为光子带隙(photonic bandgap)。此外,在具有等于或小于波长的结构具有三维精细周期性结构时,对于从所有方向入射的电磁波比如光都可以实现光子带隙。在下文中,这被称为完全光子带隙。在实现了完全光子带隙时,可以执行各种应用(比如对发光器件中的自发发射的抑制)以实现新的功能器件。为了实现在更宽的频率范围上操作的功能器件,希望具有更宽的完全光子带隙的结构。已经提本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三维光子晶体,其中周期性地层叠了包括周期性折射率结构的多个层,包括:具有周期性结构的第一层,在第一层的周期性结构中,在沿该层的面内方向中的第一轴的周期为A而沿该层的面内方向中垂直于第一轴的第二轴的周期为B的第一矩形晶格的晶格点上 、和设置在相对于第一矩形晶格的位置沿着第一轴平移A/2并沿着第二轴平移B/4的位置上的第二矩形晶格的晶格点上提供了以第二介质填充的孔,除了这些孔之外的区域被第一介质填充;具有周期性结构的第二层,在第二层的周期性结构中,在设置在相对于 第一矩形晶格的位置沿着第二轴平移+3B/8的位置上、并且沿着第一轴的周期为A和沿着第二轴的周期为B的面心...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:高木章成野林和哉星光池本圣雄
申请(专利权)人:佳能株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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