模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。

【技术实现步骤摘要】
模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法
本专利技术涉及模拟方法、模拟装置和存储介质。本专利技术还涉及膜形成方法和固化产物的制造方法。
技术介绍
提供通过将可固化成分(curablecomposition)布置在基板上、使可固化成分与模具接触并固化可固化成分来在基板上形成由可固化成分的固化产物制成的膜的方法。该膜形成方法可以被应用于压印方法和平坦化方法等。在压印方法中，通过使用具有图案的模具，模具的图案被转印到基板上的可固化成分。在平坦化技术中，通过使用具有平坦表面的模具，通过使基板上的可固化成分与平坦表面接触并固化可固化成分，形成具有平坦上表面的膜。可固化成分可以以液滴的形式布置在基板上。此后，模具可以压靠基板上的可固化成分的液滴。这扩展液滴以形成可固化成分的膜。在该过程中，形成具有均匀厚度的可固化成分的膜并且在膜中不包括气泡是重要的。为了实现它们，可以调整液滴的布置以及使模具压靠液滴的方法和条件等。为了通过包括使用膜形成装置的膜形成的试错实现该调整操作，需要大量的时间和成本。为了应对这一点，希望出现支持这种调整操作的模拟器。日本专利No.5599356描述了用于预测布置在图案形成表面上的多个液滴的湿扩展和合并的模拟方法。在该模拟方法中，通过对图案形成表面建模获得的分析表面被划分为多个分析单胞(cell)，并且，对分析表面上的各滴点布置液滴。日本专利No.5599356描述了，滴点被定义为通过将表面划分为m×n网格图案获得的区域，并且基于与分析单胞的概念不同的概念。>通常，当计算液滴的行为时，有必要定义计算组件(分析单胞)，每个计算组件(分析单胞)足够地小于各液滴的尺寸(大小)。然而，在定义如此小的计算组件时，计算液滴在整个宽区域(诸如一个压射(shot)区域)上的行为是极不现实的，并且可能不能在允许的时间内获得计算结果。特别地，计算组件(计算网格)上的多个液滴通常表示气泡的捕获。然而，由于计算网格的数量巨大，因此在现实时间内求解是不可能的。
技术实现思路
本专利技术提供有利于在较短时间内计算可固化成分在形成可固化成分的膜的过程中的行为的技术。特别地，本专利技术提供在关于可固化成分的液滴当中的气泡的表示的计算量方面有利的技术。本专利技术在其第一方面中提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法，该方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。本专利技术在其第二方面中提供一种存储用于使计算机执行在以上的第一方面中限定的模拟方法的程序的计算机可读存储介质。本专利技术在其第三方面中提供一种用于在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟装置，其中，所述装置：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。本专利技术在其第四方面中提供了一种膜形成方法，所述膜形成方法在由膜形成装置提供的膜形成条件下使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜，所述方法包含使用根据第一方面的模拟方法来预测在模拟的膜形成条件下可固化成分的行为，以及设置要由膜形成装置提供以抑制在要形成的膜中出现气泡的膜形成条件。本专利技术在其第五方面中提供了一种生产固化产物的方法，包含使用用于形成可固化成分的膜的根据第四方面的膜形成方法，以及使可固化成分固化。从(参考附图)对示例性实施例的以下描述，本专利技术的进一步特征将变得清晰。附图说明图1是示出根据第一实施例的模拟装置的布置的示图；图2是示出根据常规技术的计算网格的示例的示图；图3是示出根据实施例的模拟方法的流程图；图4是用于解释链接结构的概念的示图；图5是链接结构生成处理的流程图；图6是示出液滴与搜索范围之间的关系的示图；图7是示出在生成链接结构时使用的背景网格的示例的示图；图8是用于解释在钝角三角形单胞中可能出现的问题的示图；图9是示出钝角三角形单胞与相邻单胞合并的状态的示图；图10是用于解释确定闭合链接和断开链接的方法的示图；图11是用于解释液滴之间的气体的压力和流动之间的关系的示图；图12是用于解释链接结构上的气体流动计算的示图；图13是用于解释气体流动计算中的通量(flux)的示图；图14A和图14B是分别示出捕获气泡的时间的示图；图15是用于解释确定气泡捕获的方法的示图；以及图16是示出气泡缺陷分布的显示的示例的示图。具体实施方式以下将参照附图详细描述实施例。注意，以下实施例并不打算限制所要求保护的专利技术的范围。在实施例中描述了多个特征，但是并不限制本专利技术需要所有这样的特征，并且可以适当组合多个这样的特征。此外，在附图中，对于相同或类似配置给予相同的附图标记，并且省略其多余的描述。<第一实施例>图1示出根据实施例的膜形成装置IMP和模拟装置1的布置。膜形成装置IMP执行使布置在基板S上的可固化成分IM的多个液滴与模具M接触并在基板S和模具M之间的空间中形成可固化成分IM的膜的过程。膜形成装置IMP可以形成为例如压印装置或平坦化装置。基板S和模具M是可互换的，并且，通过使布置在模具M上的可固化成分IM的多个液滴与基板S接触，可以在模具M和基板S之间的空间中形成可固化成分IM的膜。因此，更综合地，膜形成装置IMP是执行使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分IM的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分IM的膜的过程的装置。下面将描述第一构件是基板S并且第二构件是模具M的示例。然而，第一构件可以假设为模具M，并且第二构件可以被假设为基板S。在这种情况下，下面描述中的基板S和模具M是可互换的。压印装置可以使用具有图案的模具M以将模具M的图案转印到基板S上的可固化成分IM。压印装置可以使用具有图案区域PR的模具M，图案区域PR设置有图案。压印装置可以使基板S上的可固化成分IM与模具M的图案区域PR接触，用可固化成分填充模具M与将要形成基板S的图案的区域之间的空间，并然后固化可固化成分IM。这将模具M的图案区域PR的图案转印到基板S上的可固化成分IM。例如，压印装置可以在基板S的多个压射区域中的每一个中形成由可固化成分IM的固化产物制成的图案。利用具有平坦表面的模具M，平坦化装置可以使基板S上的可固化成分IM与平坦表面接触，并固化可固化本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法，所述方法包括：/n通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；/n生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及/n基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。/n

【技术特征摘要】
20190611 JP 2019-1090221.一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法，所述方法包括：
通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；
生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及
基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。


2.根据权利要求1所述的方法，还包括：对于形成单胞的各链接，如果形成链接的液滴没有彼此合并，则将链接确定为开放链接，并且如果形成链接的液滴彼此合并，则将链接确定为闭合链接，
其中，在确定是否在单胞中形成了气泡时，如果由多个相邻的闭合链接形成闭合区域，则确定在包含于闭合区域中的所有单胞中形成了气泡。


3.根据权利要求2所述的方法，其中，在确定是否在单胞中形成了气泡时，如果生成连接关于开放链接相互面对的单胞的代表点的图形并且图形没有连接到预先已知与环境连通的环境连通单胞，则确定在形成图形的多个单胞中形成了气泡。


4.根据权利要求1所述的方法，其中，生成链接包括：
通过将放置在关注的液滴的代表点上的节点连接到距该节点预先确定的搜索距离内的区域中的各节点，生成链接，以及
删除通过在改变关注的液滴的同时重复生成链接所生成的各交叉链接对中的较长的链接。


5.根据权利要求1所述的方法，还包括：如果单胞具有钝角三角形形状，则将该单胞与钝角顶点的相对侧的相邻单胞合并。


6.根据权利要求1所述的方法，还包括计算各液滴随着所述多个液滴和第二构件之间的接触的进展而扩展的行为，
其中，在所述计算之后执行是否在单胞中形成了气泡的确定。


7.根据权利要求1所述的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：浅野俊哉，关淳一，大口雄一郎，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP