一种斜齿光栅的纳米压印方法技术

本发明专利技术公开了一种斜齿光栅的纳米压印方法。装置包括包括压印腔体和位于压印腔体中的模版固定盘、基板托盘、上伺服电机、下伺服电机、导轨和金属臂；方法包括纳米压印、脱模工作、翻印准备、复制模具进行纳米压印和翻印脱模等过程。本发明专利技术方法处理能避免脱模过程对光栅结构的损坏，压印时压印胶的填充更完整，顺利脱模阻挡小，减少缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种斜齿光栅的纳米压印方法
本专利技术涉及了一种纳米光栅制作处理方法，尤其是涉及了一种斜齿光栅的纳米压印方法。
技术介绍
增强现实(AugmentedReality，简称AR)，是以计算机系统为基础，将计算机生成的虚拟物体、场景或系统提示信息叠加到真实场景中，从而实现对现实的增强。它将虚拟的信息应用到真实世界，真实的环境和虚拟的物体实时地叠加到了同一个画面或空间同时存在。实现增强现实效果有几种不同的光学方案，比如几何光波导、表面浮雕光栅波导、体光栅波导等。其中表面浮雕光栅方案可以将AR镜片做的最薄。因此，AR眼镜想要具备普通眼镜的外观，真正走向消费市场，表面浮雕光栅方案是最佳选择。表面浮雕光栅也是目前市面上主流产品如Hololens等采取的方式，其中分三个光栅区域：入射光栅(inputgrating)、转折光栅(fold/turngrating)和出射光栅(outputgrating)。入射光栅(inputgrating)将光耦合入波导后，会进入一个转折光栅(fold/turngrating)的区域，这个区域内的光栅沟壑方向与入本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种斜齿光栅的纳米压印方法，其特征在于，方法如下：/n步骤1：使用旋涂设备将聚合物胶体(113)涂布于复制硬模具基板(112)的顶面，形成一层胶层；/n步骤2：将复制硬模具基板(112)底面平置固定于基板托盘(122)顶面；将纳米压印原始模版(111)倒置，纳米压印原始模版(111)底面平置固定于模版固定盘(121)底面，且纳米压印原始模版(111)位于复制硬模具基板(112)正上方；/n步骤3：将纳米压印原始模版(111)和复制硬模具基板(112)置于密封的压印腔体中，压印腔体抽真空；/n步骤4：由下伺服电机(131)带动基板托盘(122)上升，由上伺服电机(132)带动导轨(151)下...

【技术特征摘要】
1.一种斜齿光栅的纳米压印方法，其特征在于，方法如下：
步骤1：使用旋涂设备将聚合物胶体(113)涂布于复制硬模具基板(112)的顶面，形成一层胶层；
步骤2：将复制硬模具基板(112)底面平置固定于基板托盘(122)顶面；将纳米压印原始模版(111)倒置，纳米压印原始模版(111)底面平置固定于模版固定盘(121)底面，且纳米压印原始模版(111)位于复制硬模具基板(112)正上方；
步骤3：将纳米压印原始模版(111)和复制硬模具基板(112)置于密封的压印腔体中，压印腔体抽真空；
步骤4：由下伺服电机(131)带动基板托盘(122)上升，由上伺服电机(132)带动导轨(151)下降移动，同时控制金属臂(141、142)的伸缩配合带动模版固定盘(121)在导轨(151)上水平移动，调节基板托盘(122)的上升速度、导轨(151)下降速度以及模版固定盘(121)的水平移动速度，使纳米压印原始模版(111)和复制硬模具基板(112)相对运动方向与斜齿光栅的斜齿倾斜方向一致；不断移动，基板托盘(122)和模版固定盘(121)之间相互靠拢，聚合物胶体(113)在虹吸效应下充满填充纳米压印原始模版(111)表面的斜齿光栅结构，继续上升基板托盘(122)和下降导轨(151)将基板托盘(122)和模版固定盘(121)之间相互压紧施加压力，完成压印；
步骤5：进行紫外光曝光，使聚合物胶体PDMS(113)固化；
步骤6：由下伺服电机(131)带动基板托盘(122)下降，由上伺服电机(132)带动导轨(151)上升移动，同时控制金属臂(141、142)的伸缩配合带动模版固定盘(121)在导轨(151)上水平移动，调节基板托盘(122)的下降速度、导轨(151)上升速度以及模版固定盘(121)的水平移动速度，使模版固定盘(121)和复制硬模具基板(112)相对运动方向与斜齿光栅的斜齿倾斜方向一致；不断移动，复制硬模具基板(112)和纳米压印原始模版(111)之间远离完成脱模，得到复制硬模具基板(112)上的斜齿光栅反结构，斜齿光栅反结构位于复制硬模具基板(112)的顶面；
步骤7：取下纳米压印原始模版(111)和复制硬模具基板(112)，将模版固定盘(121)与基板托盘(122)复位；
步骤8：通过旋涂设备将光学压印胶(212)涂布于玻璃基板(211)顶面，形成厚度为涂布层；
步骤9：将玻璃基板(211)底面平置固定于基板托盘(122)顶面；将复制硬模具基板(112)倒置，复制硬模具基板(112)顶面及其上的斜齿光栅反结构朝下，复制硬模具基板(112)平置固定于模版固定盘(121)底面，且...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琬皎，刘寅，
申请(专利权)人：杭州欧光芯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33