本实用新型专利技术公开了一种凹面光栅的制作装置。包括传动装置、压印工件、压印软模具、滴胶单元、凹面基底、底座和背板；凹面基底放置在底座上，背板位于凹面基底上方，背板通过具有升降功能的传动装置支撑安装在底座上，背板的底面固定有压印工件，压印工件的底面外固定包裹有压印软模具，凹面基底的上方和压印软模具的下方设有滴胶单元。本实用新型专利技术通过压印的形式，以弧形的压印软模具对凹面基底上压印材料进行压印，实现了凹面光栅快速批量的制备，极大提高光栅结构精度，解决了划刻制备凹面光栅周期长、精度低和高成本的问题。精度低和高成本的问题。精度低和高成本的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种凹面光栅的制作装置
[0001]本技术涉及微结构制备领域的一种制作装置，具体是涉及到一种凹面光栅的制作装置。
技术介绍
[0002]纳米压印技术由于其不受传统光学光刻技术中数值孔径、光衍射效应、光波波长等因素的影响，其通过机械力的方式在胶层压印形成微纳结构，具有生产效率高、成本低、分辨率高等优点，在微纳器件制造领域有重要的应用。
[0003]现目前用于制备凹面光栅的工艺方法是通过机加工的工艺实现，在机加工中机械划刻技术是其主要的制作方法，通过在高反射金属凹面上以一定的周期划刻一系列的平行线条构成反射光栅，使凹面的高反射金属具有分光和聚光能力。但是由于机械划刻工艺其加工精度低，限制了结构尺寸和精度，且划刻时的机械力极易造成结构损伤，此外，其划刻速率很慢，导致光栅制备周期长，导致了产率极低和成本昂贵。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术中存在的问题，本技术提出了一种凹面光栅的制作装置。
[0005]使用该装置，通过纳米压印的方法在凹面上压印光栅结构，可以把光栅结构快速转移复制到凹面基底上，解决传统机械划刻制备凹面光栅周期长、成本昂贵和结构精度低的问题。
[0006]本技术所采用的技术方案是：
[0007]本技术包括传动装置、压印工件、压印软模具、滴胶单元、凹面基底、底座和背板；凹面基底放置在底座上，背板位于凹面基底上方，背板通过具有升降功能的传动装置支撑安装在底座上，背板的底面固定有压印工件，压印工件的底表面有压印软模具，凹面基底的上方和压印软模具的下方设有滴胶单元。
[0008]进一步地，还包括吸附台，凹面基底通过吸附台吸附固定在底座上。
[0009]进一步地，所述的凹面基底顶面开设有弧形凹面槽，弧形凹面槽中置有压印胶。
[0010]进一步地，还包括壳体，壳体罩装在底座上，使得传动装置、压印工件、压印软模具、滴胶单元、凹面基底和背板均置于壳体内。
[0011]进一步地，所述的压印工件底面为弧形凸面，材料可以为陶瓷、橡胶、其它合成材料等，用于和凹面基底的弧形凹面槽相配合进行压印制作。
[0012]进一步地，所述的压印工件表面设有真空槽，用于吸附固定压印软模具，压印软模具对吸附固定在吸附台表面的凹面基底进行压印，吸附台表面设有真空槽吸附凹面基底，用于固定凹面基底。
[0013]进一步地，所述压印软模具由PET软膜或PC软模和软模上面树脂材料的光栅结构两部分组成。
[0014]进一步地，所述吸附台表面开设有真空槽，用于吸附固定凹面基底。
[0015]具体的所述凹面基底材料可以为石英、玻璃、金属等材料。
[0016]进一步地，所述的传动装置为真空、空压升降管、液压升降管或者传动电机，用于控制带动压印工件上升或下降进行压印。
[0017]进一步地，还包括控制面板，控制面板安装在壳体外侧壁上。
[0018]具体实施中，控制面板可以再和传动装置、滴胶单元连接，用于控制传动装置、滴胶单元的工作。所述控制面板用于调节压印参数，控制传动装置、压印工件、滴胶单元。
[0019]本技术利用纳米压印，将压印软模具表面的光栅结构压印到凹面基底，实现了凹面光栅的制备。
[0020]本技术的有益效果：
[0021]综上所述，本技术通过压印的形式，以弧形的压印软模具对凹面基底上压印材料进行压印，实现了凹面光栅快速批量的制备，极大提高光栅结构精度，解决了划刻制备凹面光栅周期长、精度低和高成本的问题。
附图说明
[0022]为了使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图1～4对本技术做详细的描述，其中：
[0023]图1为本技术装置三维示意图；
[0024]图2为本技术用本装置压印凹面光栅平面示意图。
[0025]图3为本技术用本装置压印凹面光栅平面示意图。
[0026]图4为本技术用本装置压印凹面光栅平面示意图。
[0027]图中：1壳体、2传动装置、3压印工件、5压印软模具、6滴胶单元、7凹面基底、8吸附台、9压印胶、11底座、12背板、13控制面板。
具体实施方式
[0028]为使得本技术的技术方案更加清晰，以下将结合附图，对本技术进行详细的描述。
[0029]如图1所示，凹面光栅制作装置包括：底座11、吸附台8、壳体1、控制面板13、传动装置2、背板12、压印工件3、压印软模具5、滴胶单元6、凹面基底7。
[0030]如图1所示，壳体1通过焊接形成于底座11上，吸附台8形成并含于壳体1内，控制面板13形成于壳体1之上，传动装置2形成于底座11顶面两侧，通过液压控制传动，压印工件3形成于背板12底面构成压印单元，背板12两边通过与传动装置2连接可升降地形成于底座11顶面中心区域。具体地，底座11保持固定，凹面基底7放置在底座11上，背板12位于凹面基底7上方，背板12通过具有升降功能的传动装置2支撑安装在底座11上，具体实施中板12四角通过各自的传动装置2支撑安装在底座11上。背板12的底面固定有压印工件3，压印工件3的底表面有压印软模具5，凹面基底7的上方和压印软模具5的下方设有滴胶单元6。
[0031]在具体实施中，凹面基底7通过吸附形成于底座11之上，压印胶9通过滴胶单元6滴入凹面基底7上，有光栅结构的压印软模具5吸附于压印工件3。
[0032]在本次实例中，传动装置2通过气压的方式实现，气压范围在0.5MP～1MP，气压传动相对于其他传动方式来说，维修方便和后期使用成本低。
[0033]在本实施例中，压印工件3为弧面，材料为橡胶，也可以是陶瓷、其它合成材料等。
[0034]具体的，在压印工件3的表面一寸、二寸、四寸和六寸设有真空槽，并留有真空孔，用于吸附压印软模具5，组成压印的主要结构。
[0035]在本实施例中，压印软模具5为PET软膜和软模上面树脂材料的光栅结构组成，制作压印软模具时，可以用热压印、紫外压印和软刻蚀技术等。
[0036]所述压印软模具5形成于压印工件3表面，且压印软模具5厚度大于等于200微米，小于等于400微米。若压印软模具5厚度低于200微米，在制备凹面光栅时容易出现缺陷，且脱模困难。若压印软模具5厚度大于400微米，导致残余层过厚的问题，对后续工艺造成影响。
[0037]在本实施例中，吸附台8表面有真空槽，并留有真空孔。
[0038]具体的，吸附台8表面真空槽为圆内十字形分布，这样在放置凹面基底7时，可以使凹面基底7与压印软模具5更快、更好的对准。
[0039]在本实施例中，滴胶单元6由滴管，控制面板13和胶体盒构成，由胶体盒装载待滴入胶，控制面板13调节滴胶参数，再由滴管滴入凹面基底的凹面。
[0040]为了更加清晰了解本实施例中的装置的使用方法，以压印四寸凹面光栅为例，如图2
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图4所示：
[0041]首先进行本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种凹面光栅的制作装置，其特征在于：包括传动装置(2)、压印工件(3)、压印软模具(5)、滴胶单元(6)、凹面基底(7)、底座(11)和背板(12)；凹面基底(7)放置在底座(11)上，背板(12)位于凹面基底(7)上方，背板(12)通过具有升降功能的传动装置(2)支撑安装在底座(11)上，背板(12)的底面固定有压印工件(3)，压印工件(3)的底表面有压印软模具(5)，凹面基底(7)的上方和压印软模具(5)的下方设有滴胶单元(6)。2.根据权利要求1所述的一种凹面光栅的制作装置，其特征在于：还包括吸附台(8)，凹面基底(7)通过吸附台(8)吸附固定在底座(11)上。3.根据权利要求1所述的一种凹面光栅的制作装置，其特征在于：所述的凹面基底(7)顶面开设有弧形凹面槽，弧形凹面槽中置有压印胶(9)。4.根据权利要求1所述的一种凹面光栅的制作装置，其特征在于：还包括壳体(1)，壳体(1)罩装在底座(11)上，使得传动装置(2)、压印工件(3)、压印软模具(...
【专利技术属性】
技术研发人员：张婉皎，姜虎辛，龙眈，
申请(专利权)人：杭州欧光芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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